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时间影响:制绒包括金字塔的行核及长大过程,因此制绒时间对绒面的形貌及硅片腐蚀量均有重要影响。30min10min1min5min搅拌及鼓泡:搅拌及鼓泡有利于提高溶液均匀度,制绒过程中附加搅拌及鼓泡,硅片表面的气泡能得到很好的脱附,制绒后的硅片表面显微结构表现为绒面连续,金字塔大小均匀。但搅拌及鼓泡会略加剧溶液的挥发,制绒过程硅片的腐蚀速率也略为加快。正确的设定:无篮循环,有篮鼓泡HCl的作用:中和残留在硅片表面残余碱液;去除在硅片切割时表面引入的金属杂质。HF的作用:去硅片表面二氧化硅层;与硅片表面硅悬挂键形成Si-H钝化键。各向同性酸腐蚀对于由不同晶粒构成的铸造多晶硅片,由于硅片表面具有不同的晶向,择优腐蚀的碱性溶液显然不再适用。研究人员提出利用非择优腐蚀的酸性腐蚀剂,在铸造多晶硅表面制造类似的绒面结构,增加对光的吸收。到目前为止,人们研究最多的是HF和HNO3的混合液。分析经过腐蚀,在多晶硅片的表面形成大小不等的腐蚀坑,从而使太阳光的光程增加,降低表面反射率,增加对光的吸收。酸腐蚀的化学式很简单,但是球面绒面形成的机理仍然没有解决。部分研究者认为,在硅与硝酸的反应中,除生成SiO2外,还生成NO气体,在硅片表面形成气泡,这是导致硅片表面产生球形腐蚀坑的主要原因。在实际工艺中,HF和HNO的3比例、添加剂、温度和时间等因素,都对绒面结构产生影响。1.准备工作1)穿戴好工作衣帽、防护口罩和干净的橡胶手套;2)操作员打开包装,查看规格、电阻率、厚度、单多晶、厂家、编号是否符合要求;3)操作员检查硅片是否有崩边、裂纹、针孔、缺角、油污、划痕、凹痕;如来料有问题,需及时报告品管员;对原硅裂片,放片员需用胶带粘好,统一交还给车间小仓库管理员。多晶硅生产2.开机1)操作员打开工艺排风,打开压缩空气阀门,打开设备进水总阀;2)操作员启动设备,打开电源开关按钮,检查设备是否正常运转,检查导轮上是否有碎片。清洗制绒设备清洗制绒槽3.供液供液间4.换液1)工序长将设备“自动”转换为“手动”,点击“废液排放”;2)观察PC柜电脑画面,工作槽内液体排完后会自动停止;3)工序长再点击“槽体清洗”,清洗结束后会自动停止;4)再点击“废液排放”,排放槽内液体;5)最后将槽体内碎片和残留化学品清理干净。5.生产1)放片放片员从硅片盒中一次性拿起一叠硅片(最多不能超过100片),用右手将硅片旋开;捏住硅片的中间(不能拿硅片的角,容易产生碎片)一片一片放到轨道上面轨道共5道,每一道前后2片硅片的距离应大于5cm2)工序长每隔1000片抽测5片减重情况,并将相关数据记录在“一次清洗减薄量记录表”中,控制在0.4~0.5g之间,确定绒面质量合格后,硅片方可流入下道工序;3)对绒面质量合格的硅片,收片员详细填写“工艺流程卡”,并装在小花篮内(每200片为一批,每个小花篮装25片硅片),每一批硅片有一张流程卡,流入到扩散工序;4)操作员在设备自动运行过程中,不能离开,需时刻监视设备运行情况;生产5)收片收片员在小花篮下垫海绵垫片,双手轻轻拿硅片两端,将硅片轻轻插入小花篮,如图所示。发现有硅片发亮、未吹干、药液残留等异常现象,及时报告工序长、品管员、工艺员,共同解决。6)对制绒不良的硅片需进行隔离,并报告给工序长和品管员,集中在统一的时间返工;7)工序长在每个班在交班前,及时更换槽的纯水、碱液、酸液,并对此次换液进行相应的记录;*项目二一次清洗、制绒工艺项目要求:1.掌握制绒工艺的目的2.掌握制绒工艺的原理3.掌握制绒工艺操作流程4.掌握常见制绒不良片的解决方法5.能够制定单晶硅片、多晶硅片作业指导书第一讲:任务一制绒工艺的目的与原理1)制绒目的2)制绒原理任务一:制绒工艺的目的与原理制绒目的:①去除硅片表面的机械损伤层;②并清除表面硅酸钠、氧化物、油污以及金属离子杂质③减少光的反射率,提高短路电流,最终提高电池的光电转换效率。制绒的原理晶硅电池分为单晶硅电池、多晶硅电池,在电池片的制备工艺中,由于单晶、多晶的晶颗排列不同,制绒工艺的原理也不同,单晶主要采用各向异性碱腐蚀、多晶主
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