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2023年化学气相沉积设备项目评估报告.docx

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    化学气相沉积设备项目评估报告

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    化学气相沉积设备项目评估报告

    目录

    TOC\h\z29599序言 3

    30833一、化学气相沉积设备项目建设背景 3

    27531(一)、化学气相沉积设备项目提出背景 3

    14521(二)、化学气相沉积设备项目建设的必要性 4

    7209(三)、化学气相沉积设备项目建设的可行性 5

    5532二、化学气相沉积设备项目建设目标 8

    28648(一)、化学气相沉积设备项目建设目标 8

    14150三、工艺方案的选择 9

    8153(一)、基本要求 9

    9679(二)、典型工艺技术介绍 11

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