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基于FPGA的真空镀膜机控制系统设计
摘要
真空镀膜是指在真空的环境下按照相应的工艺进行镀膜操作，真空镀膜技术在电子、宇航、包装、装潢等工业中取得广泛的应用。
本设计的真空镀膜机是磁控溅射方式的真空镀膜机，根据其工作流程，提出了真空镀膜机控制系统的FPGA解决方案，利用VHDL语言进行程序设计，系统主要由工序流程控制模块、分频模块、递减计数模块、动态显示模块和参数设置及调用模块构成；参数及调用模块还需要片选模块、地址模块、靶控制模块、静态存储器模块等模块的调用来实现参数的设置，当设置好参数会自动的给状态机进行运行，实现按照参数的设置去进行镀膜，每一层的镀膜的参
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