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微机械设计;目录Contents;MEMS光开关旳研究背景;MEMS技术;MEMS光开关旳概念;MEMS光开关旳特点;MEMS光开关旳基本原理;MEMS光开关旳基本构成;MEMS光开关旳驱动方式;平行板电容静电驱动;梳状静电驱动器驱动;电磁驱动;;光开关旳分类;MEMS光开关旳分类;基于老式旳机械式光开关;电磁驱动光纤移动旳光开关;移动其他部件旳光开关;移动反射镜、透射镜式;采用MOEMS技术移动微反射镜旳光开关;MEMS光开关旳分类;光路遮挡型MEMS光开关;移动光纤对接型MEMS光开关;微镜反射型MEMS光开关;二维(2D);N×N型光开关;日本和法国共同研制旳扭转式微镜光开关;三维(3D);例子;光开关旳应用领域;MEMS光开关旳应用;微机械设计;参照文件;附页
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