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DRF-85型单晶炉
使用说明书
（电气部分）
目录
TOC\o1-5\h\z\oCurrentDocument-.TDR-ADC单晶炉电气控制系统组成 4
\oCurrentDocument概述 4
\oCurrentDocumentTDR-ADC电气控制系统组成及功能 5
\oCurrentDocumentTDR-ADC晶体生长控制柜 6
\oCurrentDocumentTDR-SLCL(PLC)晶升蜗升速度控制单机 6
\oCurrentDocumentTDR-SRCR晶转蜗转速度控制单机 6
\oCurrentDocumentTDR-TEMP?1度控制及工控机单机 7
\oCurrentDocument控制柜继电控制单元 8
\oCurrentDocument控制柜面板 8
\oCurrentDocument加热功率部件 8
\oCurrentDocument主加热功率部件 8
\oCurrentDocument辅助加热功率部件(选件) 9
\oCurrentDocument继电控制 9
\oCurrentDocument液压系统的继电控制 9
\oCurrentDocument真空机组的继电控制 9
\oCurrentDocument辅助控制部分 9
\oCurrentDocumentHX-TDR主机分线盒接口装置 9
\oCurrentDocumentHX-SEED2引晶装置 10
\oCurrentDocumentTDR-LIN晶升坍升计长板 10
\oCurrentDocument限位开关 10
\oCurrentDocument冷却水温度测量 11
\oCurrentDocument晶体直径测量 11
\oCurrentDocumentTDRF-85炉的TDR-ADC也气控制系统接线说明 11
\oCurrentDocumentTDRF-85炉的晶体生长控制柜接线说明 11
\oCurrentDocument控制柜内元件接线 11
\oCurrentDocument控制柜端子排接线 11
\oCurrentDocument一.TDR-ADC单晶炉电气控制系统安装调试 23
\oCurrentDocument.安装说明 23
\oCurrentDocument控制系统配置 23
\oCurrentDocumentTDR-ADC晶体生长控制柜 23
\oCurrentDocument加热功率部件 24
\oCurrentDocument接线说明 24
\oCurrentDocument1.2.3主机分线盒接线说明 25
\oCurrentDocument.系统调试 25
\oCurrentDocumentTDR-ADC晶升蜗升速度系统调试 25
\oCurrentDocument晶升速度调试 29
堪升速度调试 31
\oCurrentDocument晶转堪转速度交流伺服电机简介 34
\oCurrentDocument晶转期转速度调试 35
\oCurrentDocumentTDR-TEMP?度控制及工控机单机 36
\oCurrentDocument加热温度控制部分调试 41
\oCurrentDocumentTDR-ADC继电控制调试 42
\oCurrentDocument真空机组继电控制调试 42
\oCurrentDocument液压系统的继电控制调试 43
\oCurrentDocumentTDR-ADC水温检测及限位开关调试 44
\oCurrentDocument冷却水温监测及超温报警 44
\oCurrentDocument限位开关调试 44
\oCurrentDocument三。TDR-ADC控制系统操作说明 46
.概述 46
\oCurrentDocument.TDR-ADC晶体生长控制系统操作画面说明 47
\oCurrentDocument晶体生长主画面 47
\oCurrentDocument上标题栏 48
\oCurrentDocument通讯状态栏 48
\oCurrentDocument速度系统栏 49
\oCurrentDocu
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