液晶配向膜测试方法 第2部分：成膜性能 编制说明.docx

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《液晶配向膜测试方法第2部分成膜性能》（征求意见稿)编制说明

一.工作简况

1.任务来源

根据国家标准化管理委员会2023年推荐性国家标准计划（国标委发【2023】58号），国家标准《液晶配向膜测试方法第2部分成膜性能》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）负责归口管理，由深圳市道尔顿电子材料股份有限公司组织起草。

2.项目主要参与单位

深圳市道尔顿电子材料股份有限公司是一家专业生产聚酰亚胺液晶配向膜、光刻胶、清洗剂等显示领域电子化学品的企业。深圳市道尔顿电子材料股份有限公司坚持科技创新，公司研发中心配置了行业一流的实验和测试设备，部分测试设备为国内仅有。多年来联合清华大学、北京大学和上海交大等国内知名高校和研究院所，持续推出多款性能优异的液晶取向剂(PI)、光刻胶(PR)。在单色液晶显示器占有极高的市场份额，打破了国外产品的长期垄断。在彩色显示器行业开始崭露头角，市场份额逐年攀升。

长沙道尔顿电子材料有限公司、南雄市毅豪化工有限公司为深圳市道尔顿电子材料股份有限公司的全资子公司。

本文件的主要起草单位中深圳市道尔顿电子材料股份有限公司组织了标准起草和试验复验工作，中国电子技术标准化研究院在标准研制过程中积极反馈意见，对标准各环节的稿件进行了修改，确保标准符合GB/T1.1的要求，为标准文本的完善做出了贡献。

3.主要工作过程3.1.起草阶段

本项目任务下达后，由深圳市道尔顿电子材料股份有限公司负责起草。进行了设备、用户要求、相关标准应用等方面的调研和收集；与同行、设备商进行了充分的沟通。结合这么多年来液晶配向膜的开发、生产、技术、应用经验，按国家标准的格式要求起草了本标准，并于2024年7月至8月形成标准讨论稿。

3.2.征求意见阶段

2024年7月31日由全国半导体设备和材料标准化技术委员会组织在北京召开《液晶配向膜测试方法第3部分光电性能》标准草案的启动工作会议。逐条对标准草案进行讨论，

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并提改修改意见。

2024年9月，负责起草的单位按标准启动工作会议上所提的修改意见，对草案进行修改，形成标准征求意见稿。

二.标准编制原则和确定主要内容的论据

1.编制原则

本标准按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》进行编写。

本标准的测试项目以及方法制定以归纳国内主要液晶配向膜的研究成果为基础，这些成果已经在国内外液晶配向膜得到验证，以科学、合理、可操作性为原则。

2.确定主要内容的依据

2.1.本标准稿中引用一下文件作为参考

GB/T6739-2022色漆和清漆铅笔法测定漆膜硬度

GB/T14571.4-2022工业用乙二醇试验方法第4部分：紫外透光率的测定紫外分光光度法

JJG178-2007紫外、可见、近红外分光光度计

GB/T5594.4-2015电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法第4部分：介电常数和介质损耗角正切值的测试方法

GB/T6040-2019红外光谱分析方法通则

GB/T37631-2019化学纤维热分解温度试验方法GB/T6425热分析术语

2.2.主要内容原理

2.2.1.折射率

本标准给出了使用连续变波长、变角度的光谱型椭圆偏振仪测量硅表面上液晶配向膜膜层折射率的方法。适用于测试硅基底上厚度均匀、各向同性、100±5nm厚的液晶配向膜薄层折射率。

椭圆偏振法是利用将一束单色椭圆偏振光投射到薄膜表面，根据电动力学原理，反射光的椭偏状态与薄膜厚度和折射率有关，通过测出椭偏状态的变化，就可以推算出薄膜的厚度和折射率。

a)光波在两种介质分界面上的反射和折射，光在分界面的反射，要分两种光波状态来分析。电矢量在入射面的光波叫p波，垂直于入射面的叫s波，每个光束可分解为p分量和s分量。一般情况下两者的反射系数是不相同的。由菲涅尔反射系数公式可知，光波电矢量的p分量和s分量在两个界面处的反射系数r分别为：

……（1）

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b)单层膜的反射系数

图1光波在单层介质膜中传播

入射光由环境媒质入射到单层薄膜上，并在环境媒质、薄膜、衬底的两个界面上发生多次折射和反射。此时，折射角满足菲涅尔折射定律：

n1sinφ1=n2sinφ2=n3sinφ3……（2）

以上各式中n1为空气折射率，n2为膜层的折射率，n3为衬底折射率。φ1为入射角，φ2，φ3分别为光波在薄膜和衬底的折射角。

总反射光是薄膜内各