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ICS71.040.10
CCSN69
团体标准
T/CAQIXXXX—XXXX
金刚石制备微波等离子体化学气相沉积
设备
Diamondpreparation—Microwaveplasmachemicalvapordepositionequipment
(征求意见稿)
在提交反馈意见时,请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。
2023-XX-XX发布2023-XX-XX实施
中国质量检验协会发布
T/CAQIXXXX—XXXX
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4缩略语2
5设备原理及分类2
6技术要求2
7技术参数5
8检验及测试5
9检验规则8
10标志和包装9
I
T/CAQIXXXX—XXXX
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国质量检验协会提出并归口。
本文件起草单位:XX、XX、XX、XX。
本文件主要起草人:XX、XX、XX、XX。
II
T/CAQIXXXX—XXXX
金刚石制备微波等离子体化学气相沉积设备
1范围
本文件规定了用于制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备(以下简称MPCVD设备)的术语和
定义、缩略语、设备原理及分类、一般要求、设计要求、安全性要求、运行要求、安全联锁、技术参数、
检验及测试、检验规则、标志和包装等。
本文件适用于金刚石制备用途的微波模式为单模、多模的微波等离子体化学气相沉积设备。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,
仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本
文件。
GB/T1804—2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T5080.7—1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验
方案
GB/T5226.1—2019机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件
GB5959.6—2008电热装置的安全第6部分工业微波加热设备的安全规范
GB/T7251.1—2013低压成套开关设备和控制设备第1部分:总则
GB/T13384—2008机电产品包装通用技术条件
GB/T32218—2015真空技术真空系统漏率测试方法
GBZ2.2—2017工作场
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