TCAQI-金刚石制备 微波等离子体化学气相沉积设备.pdf

ICS71.040.10

CCSN69

团体标准

T/CAQIXXXX—XXXX

金刚石制备微波等离子体化学气相沉积

设备

Diamondpreparation—Microwaveplasmachemicalvapordepositionequipment

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

2023-XX-XX发布2023-XX-XX实施

中国质量检验协会发布

T/CAQIXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4缩略语2

5设备原理及分类2

6技术要求2

7技术参数5

8检验及测试5

9检验规则8

10标志和包装9

I

T/CAQIXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国质量检验协会提出并归口。

本文件起草单位：XX、XX、XX、XX。

本文件主要起草人：XX、XX、XX、XX。

II

T/CAQIXXXX—XXXX

金刚石制备微波等离子体化学气相沉积设备

1范围

本文件规定了用于制备金刚石的微波等离子体化学气相沉积设备（以下简称MPCVD设备）的术语和

定义、缩略语、设备原理及分类、一般要求、设计要求、安全性要求、运行要求、安全联锁、技术参数、

检验及测试、检验规则、标志和包装等。

本文件适用于金刚石制备用途的微波模式为单模、多模的微波等离子体化学气相沉积设备。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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