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强度计算的工程应用：微电子材料的强度与断裂.pdf

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    强度计算的工程应用：微电子材料的强度与断裂

    1微电子材料概述

    1.1微电子材料的分类

    在微电子领域，材料的选择和特性对器件的性能和可靠性至关重要。微电

    子材料主要可以分为以下几类：

    1.半导体材料：如硅（Si）、锗（Ge）和各种化合物半导体（如

    GaAs、InP），是构成集成电路（IC）和微处理器的基础。

    2.绝缘材料：如二氧化硅（SiO2）、氮化硅（Si3N4），用于隔离电路

    中的不同部分，防止电流泄漏。

    3.金属材料：如铝（Al）、铜（Cu）、钨

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