强度计算的工程应用:微电子器件应力分析.pdf

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强度计算的工程应用:微电子器件应力分析

1强度计算基础

1.1应力与应变的概念

1.1.1应力

应力(Stress)是材料内部单位面积上所承受的力,是衡量材料受力状态的

重要物理量。在微电子器件中,应力的产生主要来源于热胀冷缩、材料的不均

匀性、制造过程中的机械加工等。应力可以分为正应力(σ)和剪应力(τ),

正应力是垂直于截面的应力,剪应力则是平行于截面的应力。

1.1.2应变

应变(Strain)是材料在受力作用下发生的形变程度,是描述材料形变的物

理量。应变分为线应变(ε)和剪应变(γ),线应变是材料长度变化与原长的

比值,剪应

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