基于大扫频范围和目标漂移补偿的激光频率扫描干涉法绝对测距研究.pdf

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摘要

摘要

激光干涉测距法是目前最高精度的距离测量方法,相较于增量式激光干涉法,

绝对距离测量方法能够实现目标距离的瞬时测量,无须目标连续移动,测量速度

快、精度高,不需要铺设平直导轨,且可避免累计误差的影响,在高端装备制造、

飞机装配、大科学装置等领域具有更广阔的应用前景。综合现阶段绝对距离测量

方法的研究现状,本文提出了基于大扫频范围和目标漂移补偿的激光频率扫描干

涉绝对测距方法,进行长距离和高精度的快速距离测量。

频率扫描干涉法(FSI)

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