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摘要
摘要
激光干涉测距法是目前最高精度的距离测量方法,相较于增量式激光干涉法,
绝对距离测量方法能够实现目标距离的瞬时测量,无须目标连续移动,测量速度
快、精度高,不需要铺设平直导轨,且可避免累计误差的影响,在高端装备制造、
飞机装配、大科学装置等领域具有更广阔的应用前景。综合现阶段绝对距离测量
方法的研究现状,本文提出了基于大扫频范围和目标漂移补偿的激光频率扫描干
涉绝对测距方法,进行长距离和高精度的快速距离测量。
频率扫描干涉法(FSI)
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