《微加工导论》课程教学大纲.docx

《微加工导论》教学大纲

课程编号100093204

课程名称微加工导论

高等教育层次：本科

课程在培养方案中的地位：

课程性质：选修

对应于电子封装技术专业；属于：BZ专业课程基本模块

开课学年及学期第五学期

先修课程（b材料科学基础微电子制造工艺基础电子封装工艺）

课程总学分：2.0，总学时:32；

课程教学形式：0普通课程

课程教学目标与教学效果评价

课程教学目标（给出知识能力素养各方面的的具体教学结果）(必填)

教学效果评价

不及格

及格，中

良

优

1.知悉和理解微加工技术分类、特点以及应用

完全不知道分类与区别，

对电子组装分类、特点以及应用，有碎片化的理解。

1.对电子组装分类、特点以及应用核心过程能理解，但不清楚与微连接的区别。

1.对电子组装分类、特点以及应用核心过程能完整理解，但不系统，存在断点。

1.对电子组装分类、特点以及应用核心过程能完整系统地理解。

2.能够根据电子产品微加工的要求，利用现有的及方法，分析微加工工艺流程、所用生产设备的能力。

1.完全没能力根据电子产品微加工的要求，利用现有的及方法，分析微加工工艺流程、所用生产设备的能力。

1.具有根据电子产品微加工的要求，利用现有的及方法，分析微加工工艺流程、所用生产设备的能力，但缺乏系统性。

1.具有根据电子产品微加工的要求，利用现有的及方法，分析微加工工艺流程、所用生产设备的能力，有一定的系统性，但系统性方面存在断点。

1.具备具有根据电子产品微加工的要求，利用现有的及方法，分析微加工工艺流程、所用生产设备的能力。

3.拥有根据所掌握的微加工技术，针对各种实际应用需求提出相应的微加工工艺选择方案，具有分析影响微加工质量的能力，形成对微加工方法、设备以及具体实施方案进行设计分析的思维模式。

1.完全没能力根据所掌握的微加工技术，针对各种实际应用需求提出相应的微加工工艺选择方案，具有分析影响微加工质量的能力，形成对微加工方法、设备以及具体实施方案进行设计分析的能力。

1.整体上拥有根据所掌握的微加工技术，针对各种实际应用需求提出相应的微加工工艺选择方案，具有分析影响微加工质量的能力，形成对微加工方法、设备以及具体实施方案进行设计分析的思维模式，但缺乏系统性。

1.整体上拥有根据所掌握的微加工技术，针对各种实际应用需求提出相应的微加工工艺选择方案，具有分析影响微加工质量的能力，形成对微加工方法、设备以及具体实施方案进行设计分析的思维模式，有一定的系统性，但系统性方面存在断点。

1.拥有根据所掌握的微加工技术，针对各种实际应用需求提出相应的微加工工艺选择方案，具有分析影响微加工质量的能力，形成对微加工方法、设备以及具体实施方案进行设计分析的思维模式。

课程教学目标与所支撑的毕业要求对应关系

毕业要求（指标点）编号

毕业要求（指标点）内容

课程教学目标（给出知识能力素养各方面的的具体教学结果）

3.2

掌握基本的创新原理和方法，具有追求创新的态度和意识。

1.知悉和理解微加工技术分类、特点以及应用

1.4

熟悉各类电子装连、工艺设备、装置、测试仪器的工作原理、技术参数和适用范围，具备对电子制造过程的控制参数、状态参数和工艺结果进行测量和测试的能力，并能够对实验结果进行分析。

2.能够根据电子产品微加工的要求，利用现有的及方法，分析微加工工艺流程、所用生产设备的能力。

4.3

将电子封装和电子制造知识运用于实际工程（如制造、材料、工艺、测试以及失效分析等）问题的解释、分析，提出解决方案

3.拥有根据所掌握的微加工技术，针对各种实际应用需求提出相应的微加工工艺选择方案，具有分析影响微加工质量的能力，形成对微加工方法、设备以及具体实施方案进行设计分析的思维模式。

教学内容、学时分配、与进度安排

教学内容

学时分配

所支撑的课程教学目标

教学方法与策略（可结合教学形式描述）（选填）

第1章概述（2学时）

1.1微加工学科分类

1.2基片

1.3材料

1.4表面和界面

1.5工艺

1.6横向尺度

1.7垂直尺寸

1.8器件

1.9金属氧化物半导体晶体管

1.10净化和成品率

1.11产业

第2章微测量和材料表征（4学时）

2.1显微法和可视化

2.2横向和垂直尺寸

2.3电学测试

2.4物理和化学分析

2.5X射线衍射

2.6全反射X射线荧光

2.7二次离子质谱

2.8俄歇电子波谱法

2.9X射线光电子波谱法

2.10卢瑟福背散射能谱法

2.11电子微探针分析/能量分散X射线分析

2.12其他方法

2.13分析面积和深度

2.14微测试实用要点

6

3.2

讲授，图片、视频以及动画展示，课堂提问与讨论，拓展相关知识。

第3章微加工工艺模拟（2学时）

3.1模拟类型

3.2一维模拟

3.3二维模拟

3.4三维模拟

第二