《GBT 4937.27-2023半导体器件 机械和气候试验方法 第27部分：静电放电（ESD）敏.pptx

《GB/T4937.27-2023半导体器件机械和气候试验方法第27部分：静电放电（ESD）敏感度测试机器模型（MM）》必威体育精装版解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;;参数失效

ESD引起的电压或电流变化超出器件设计范围，导致器件参数漂移，无法满足使用要求。;;;;电磁干扰效应

ESD过程中产生的电磁场可能对器件内部的敏感电路造成干扰，影响器件性能。;;;PART;GB/T4937.27-2023标准概述与重要性;测试方法的重要性

静电放电（ESD）是半导体器件常见的失效原因之一，可能导致器件突发性损伤或潜在性损伤。因此，进行可靠的静电放电敏感度测试，对于评估器件的可靠性、指导设计改进和优化具有重要意义。

标准的应用范围

GB/T4937.27-2023标准适用于所有半导体器件的静电放电（ESD）敏感度测试，包括集成电路、分立器件等。通过标准的测试方法，可以对不同类型、不同厂家的半导体器件进行统一评价。;PART;MM测试原理：;机器模型（MM）在ESD测试中的应用;;引脚组合测试

确定并记录每个插座和DUT板的最坏情况引脚组合，以模拟最不利的静电放电条件。;;机器模型（MM）在ESD测试中的应用;01;PART;评估半导体器件对静电放电的敏感度：通过静电放电敏感度测试，能够准确评估半导体器件在静电放电环境下的耐受能力，为器件的设计和制造提供依据。;PART;;热击穿

局部高温导致半导体材料热击穿，形成短路或开路，使器件失效。;;;;;PART;;流程

包括测试准备、测试执行、数据记录与分析等步骤。;;MM测试方法与原理详解;;评价负载;MM测试方法与原理详解;;PART;PART;测试设备与环境要求;测试设备与环境要求;PART;;负载电阻器检查

使用500Ω、容差±1%的低感电阻器，其ESD耐压要与用于波形验证的电压相匹配。;测试夹具与样品准备：;测试前的准备工作与注意事项;测试前的准备工作与注意事项;电磁屏蔽

确保测试区域具有良好的电磁屏蔽性能，以防止外部电磁干扰对测试结果的影响。;;PART;测试步骤与操作流程指南;;;测试步骤与操作流程指南;记录测试数据

使用波形记录系统实时记录放电过程中的电流、电压等关键数据。;测试结果评估：;测试步骤与操作流程指南;;PART;;重复测试

对关键数据点进行重复测??，以验证数据的稳定性和可重复性。;数据记录与结果分析方法;数据记录与结果分析方法;;PART;测试中的常见问题及解决方案;测试设备验证不足：;;;测试中的常见问题及解决方案;PART;ESD防护措施的重要性;ESD防护措施的实施方法;;PART;等级划分标准

根据半导体器件对机械模型(MM)静电放电的敏感度，将器件划分为不同的ESD敏感度等级。等级划分基于器件在静电放电测试中的表现，如耐受电压、漏电流变化等关键参数。

等级测试流程

测试流程包括准备测试环境、连接测试设备、施加静电放电脉冲、监测并记录测试结果等步骤。每个等级测试需按照标准规定的电压和波形参数进行，确保测试结果的准确性和可比性。;半导体器件ESD敏感度等级划分;PART;MM测试与HBM测试的对比分析;;测试应用与目的：;MM测试与HBM测试的对比分析;PART;;PART;确保产品符合标准与法规;提升产品质量与可靠性;;PART;;;;;;隔离接地

对于敏感电路和噪声源电路，采用隔离接地方式，避免相互干扰。;;使用内部层作为屏蔽层，进一步隔离外部ESD干扰。;;PART;提升产品可靠性

通过静电放电(ESD)敏感度测试，可以验证半导体器件在静电放电环境下的耐受能力，确保产品在正常使用及潜在静电威胁下的可靠性。这有助于减少因静电放电导致的设备损坏或性能退化，从而提升产品的整体质量和可靠性。

降低故障诊断时间

未经过严格ESD测试的半导体器件，在使用过程中可能会因静电放电而突然失效，导致故障诊断时间增加。通过测试筛选出对静电放电敏感的器件，有助于制造商提前采取防护措施，降低故障诊断的复杂性和时间成本。;ESD测试对产品质量的影响分析;PART;测试环境准备：;环境条件控制

控制测试室内的温度、湿度，确保测试条件符合标准规定。;;案例研究：ESD测试在实际生产中的应用;;数据统计

对多个样品的测试数据进行统计分析，得出整体测试结果，为产品改进提供依据。;测试问题处理：;案例研究：ESD测试在实际生产中的应用;;问题分析及建议;PART;ESD测试的未来发展趋势与挑战;;ESD测试的未来发展趋势与挑战;;PART;ESD测试的重要性：;识别潜在性损伤

静电放电还可能引起性能不稳定等潜在性损伤，长期累积后可能导致器件失效，测试有助于识别并控制这些风险。;半导体器件可靠性评估中的ESD测试;波形验证与设备要求

测试过程中需对波形发生