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洁净区尘埃粒子监测标准操作规程

版序号00

起草部门审核质量部审核批准

年月日年月日年月日年月日

颁发部门颁发日期执行日期页码

质量管理部年月日年月日第01页共04页

分发部门

1.目的：

为规范洁净区尘埃粒子监测。

2.适用范围：

适用于对洁净区尘埃粒子监测的操作。

3.职责：

洁净区QA洁净度监测人员。

4.内容：

4.1概述：洁净区悬浮粒子监测采用计数浓度法，既通过测定洁净区环境内单位体积空气中含大于或

等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室（或洁净区）的悬浮粒子洁净度等级。

4.2仪器：。。。，型号：。。。，使用时应严格按照仪器操作SOP()操作。。

4.3监测原理：空气中悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象，散射光的强度与粒子的表面积成正比。

4.4.1测试规则

4.4.1.1洁净室（区）的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～26℃，相

对湿度控制在45%～65%之间为宜）。

4.4.1.2压差：不同级别的洁净区之间的压差应不低于10Pa，空气洁净度级别要求高的洁净室（洁净

区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（洁净区）一般呈相对正压。

4.4.2测试状态

4.4.2.1静态测试和动态测试

“静态”就是指所有生产设备均已安装就绪，但没有生产活动且无操作人员在场的状态。在进行“静态”

监测时，需注意应在生产操作全部结束，操作人员撤离生产现场并经15~30分钟自净后进行监测。“动

态”就是是指生产设备按预定的工艺模式运行并有规定数量的操作人员在现场操作的状态。

4.4.3测试时间

测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始，具体严格遵循不同状态的测试要求。

4.4.4采样点数目

采样点数目需通过如下公式计算得来：NL=√¯A

NL

：最少采样点数目（四舍五入取整）

A：洁净区的面积，以m2计(单向流时，该面积可视为气流截面的面积)

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具体数值见下表：

房间面积（m2）采样点数目

＜101-3

10-203-4

20-404-6

40-1006-10

4.4.5采样量的设置

关于采样量的设置，通过如下公式计算得来：

V=20/C×1000

Snm

，

V：每个采样点每次的最少采样量，单位为升

S

C：采样点区域洁净级别的尘埃粒子限度值(个/m3)

nm

，

另外，采样量的设置还需满足以下三个条件：

（1）采样量要足够大，保证能检测出至少20个粒子；

（2）每个采样点每次的最少采样量至少为2升；

（3）采样时间最少为1分钟.

对应各洁净级别的至少采样量为：