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《洁净厂房施工综合技术》

前言

洁净技术及玷污控制技术，实际上常用玷污控制（ContaminationControl）

一词。其全面的概念应是：对加工或处理对象在加工处理过程中，由于玷污物质

的存在，影响对象的成功率，而对到达对象表面的玷污物质进行控制后，能提高

对象的成功率，此有效控制玷污物质（亦包括加工或处理对象带有对人体有害的

玷污物质需进行处理及隔离）的技术称为洁净技术或玷污控制。

洁净技术与玷污物质的控制方法因加工处理的对象而异。如精密机械加工

要求控制工件表面的粒子尺寸及浓度，一般都以控制空气中的粒子尺寸及其浓度

来解决；医疗、卫生、制药等以控制空气中的粒子尺寸及其浓度和微生物数来解

决；而IC生产随着集成度的提高，线宽的减少，当前要求严格控制硅表面的粒

子尺寸及其浓度、有机物质、金属物质、吸附的某些分子以及硅片本身的氧化。

因此除了控制洁净室空气中的粒子尺寸及其浓度并有机物质外，还须控制工艺介

质如高纯水、高纯气体、特种气体及化学品（液）内的粒子尺寸及其浓度、金属

物质、有机物质及某些气体不纯物质。

因此，洁净技术涉及的内容范围是很广的，可以是洁净室技术的研究、开

发；洁净室各系统（壁板系统、吊顶系统、地板系统、空气净化及空调系统以及

其它服务系统（如洁净工作服、洁净室专用抹布等消耗品）的研究、开发、设计、

应用设计、安装、运行及管理等的介绍及经验总结；洁净厂房施工技术仅为此领

域内容之一。

洁净厂房的设计与施工在科技高速发展的今天，已成为一门专业学科被大

家所重视并被广泛研究，在洁净厂房内生产的相关产品即象征着它的高品质与其

高科技。此项施工技术适用于制药、医疗、核电站、微电子、化妆品、食品与饮

料、实验室、航空、生物工程、精密机械加工、印刷等有洁净等级要求的工程施

工。

洁净厂房设计及施工技术具有三个显著特点，即科技含量高、施工难度大、

新技术及新材料应用广泛。特别是对材料的性能、耐腐蚀性、气密性以及施工节

点的处理等要求甚高。本文将主要围绕上述特点分系统进行阐述。

《洁净厂房施工综合技术》

第1部分洁净施工技术综述

1.洁净施工目的与原则

1.1洁净施工目的

在洁净室的建造过程中，始终有粉尘产生，仅靠施工最终阶段的清理是无

法清理干净的，而这些无法被清除的赃物、灰尘会付在洁净室的表面。在洁净室

开始起用时，付在室内表面的灰尘会在室内空间飞散，由此而增大过滤器的初期

负荷，以至缩短过滤器的寿命。

所以在洁净室的施工过程中，需采取相应措施，最大程度地减轻洁净室的

初期负荷，尽早达到洁净室的性能要求是很重要的。

1.2洁净施工基本原则

1.2.1垃圾、灰尘等不得带入洁净室内。

1.2.2在洁净室内不允许产生垃圾、尘土。

1.2.3一旦发生灰尘，应立即清扫、排除，不得使其扩散。

1.2.4防止赃物、灰尘堆积。

2.洁净施工要求与标准

2.1洁净室装饰表面质量要求一览表

要求项目

使用部位

发尘性耐磨性耐水性防静电防霉性气密性压缝条

吊电阻为

涂料不掉皮、粉化-可耐清洗耐潮湿、霉变--

58

10～10Ω

板缝平齐、平直、不大

板材不产尘、无裂痕-可擦洗--

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