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探针台维修保养

探针台维修保养探针台用途：

 手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探

针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器

可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用

于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。仪准科技擅长领域手动探针台

Probestation，激光开封机Laserdecap，光发射显微镜EMMI，IV自动曲线量

测仪，红外显微镜，半导体失效分析设备，集成电路测试：非破坏xing分析

 维护和保养1.避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置

需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪

器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探

针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘

吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精

度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即

可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可

用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安

全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操

作人员必须严格按要**作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。仪准科技擅

长领域手动探针台Probestation，激光开封机Laserdecap，光发射显微镜

EMMI，IV自动曲线量测仪，红外显微镜，半导体失效分析设备，集成电路测

试：非破坏xing分析

 4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，好是具有防震装置的工作台

上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使

用佳温度范围为5℃～40℃，佳湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%

以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可

能关闭，使室内达到除湿效果。使用电源：220plusmn;10%，50~60Hz

 探针台维修保养

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