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第一章
2.MEMS器件的尺寸范围是1。
10.“芯片上的实验室”是。
11.现代微加工技术的起源是10。
14.单词“LIGA.”是指8。
18.微系统部件的“深宽比”被定义为之比16。
二、简单题：
3.微系统和微电子技术之间最明显的区别是什么？12
10.根据你的学术和背景，描述你在这个多学科微系统技术中能扮演
的角色。
第二章
一、填空题
14.形状记忆合金材料有如下特性48、64。
15.压电驱动工作原理49、64。
16.电极之间间隙减小，静电驱动力50、64。
二、简答题
3.简述微型压力传感器三种信号变换方法的原理。最少各举出一个优
点和一个缺点。（39~44）
4.微传感器、致动器和流体器件的主要作用。（62）
9.简述四种微器件常用的驱动技术。每种技术至少举出一个优点和一
个缺点。（）
第三章
一、填空题
31.电解液是电解工艺中传导电流的81。
二、简答题
5.确定在扩散工艺中实现掺杂砷、磷和硼时，硅基底的最佳温度。以
及在这些最佳温度下掺杂剂的溶解度。
7.确定在硅基底中掺杂剂所需要的时间，要求掺杂后深度2处硅的
m
电阻率为3。
10cm
10.解释微流体流动中的毛细效应，为什么常规的机械泵不能驱动有
毛细效应的小管道中的流体。
11.描述量子物理学在MEMS和微系统设计中的角色。
第四章
一、填空题
4.从力学角度来看，最适合的微传感器薄片的几何形状为。
6.微器件的固有频率是由它的所决定的。
7.理论上微器件有个固有频率。
8.对微器件中的几个或者所有固有频率的分析被称做。
9.当激励力的频率器件的任一固有频率时，该器件会发生共
振。
10.在质量弹簧系统中缓冲器可以对系统起到的作用。
15.在的情况下，机械约束的微器件组件中将感应出热
应力。
16.在由不同的材料制造的微器件中感应出热应力的原因
是。
18.材料的蠕变在下变得严重。
24.微结构里的失效力学分析需要描述内部的应力状态。
26.有限元分析的第一步是。
28.用有限元分析应力的主要未知量是。
二、简答题
4
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