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锆掺杂氧化铪基铁电薄膜的多值存储特性的铁电性能研究.docx

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    锆掺杂氧化铪基铁电薄膜的多值存储特性的铁电性能研究

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    TOC\o1-1\h\z\t标题2,2,标题3,3,副标题,1摘要 I

    Abstract I

    1绪论 1

    1.1存储器 1

    1.2铁电体与铁电薄膜 2

    1.2.1铁电体与铁电性 2

    1.2.2铁电材料的发展历史 2

    1.2.3氧化铪基铁电薄膜 3

    1.3铁电存储器的结构 5

    1.4铁电薄膜的多值极化特性 6

    1.5本论文的选题依据和研究内容 6

    1.5.1本论文的选题依据 6

    1.5.2本论文的研究内容 7

    2锆

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