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各种材料的腐蚀剂和腐蚀速率
材料腐蚀剂腐蚀速率
SiHF+HNO+HO最大490um/min
32
SiONHF150g23℃时0.1μm/min
24
HF40%70mL
HO150mL
2
SiN49%HF23℃LPCVDPECVD
34
85%HPO155℃8.0nm/min150.0-300.0nm/min
34
85%HPO180℃1.5nm/min10.0-20.0nm/min
34
12.0nm/min60.0-100.0nm/min
多晶硅HF6mL800nm/min,边缘平整
HNO100mL
3
HO40mL
2
HF1mL150nm/min
HNO26mL
3
CHCOOH33mL
3
铝HCl1mL80℃,细线
H2O2mL
HPO4mL35nm/min,细线,腐蚀GaAs
34
HNO1mL
3
CHCOOH4mL
3
HO1mL
2
KBrO0.1M1um/min,腐蚀时无气体溢出
247
KOH0.51M
KFeCN0.6M
36
HPO16-19mL150.0-250.0nm/min,腐蚀GaAs
34
HNO1mL
3
HO0-4mL
2
金HCl3mL25-50um/min
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