SQDL平台多源炉电子束蒸发操作规程（SOP）_2.pdf

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电子束蒸发系统ElectronBeamEvaporationSystem

一、镀膜准备

记录仪器真空度，做好使用登记。

开腔OVERVIEW→AUTO（绿色亮起）→AUTOVENT

卸下衬底托架，此时需要轻轻拧松螺丝（勿拧下螺丝），三枚螺丝整体拧松后，旋动托架并

取出。放置或固定衬底于托架，拧紧托架螺丝（整体拧紧，不建议将单个螺丝直接拧紧，以

免六寸托架内衬底因倾斜而错位）。

转换坩埚OVERVIEW→MANUAL（绿色亮起）→Navigate→E-BEAM→

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