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SQDL平台1.5M酸碱通风操作规程（SOP）.pdf

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    上海科技大学量子器件中心（SQDL）

    工艺设备SOP

    1.5M酸碱通风橱

    版本：V3

    发布年份：2023年

    编写人：王镜喆

    设备管理工程师：王镜喆

    上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：1.5M酸碱通风橱（1号Liftoff有机清洗，大样品）

    1.5M酸碱通风橱（1号Liftoff有机清洗，大样品）标准操作流程

    及使用规范

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