电镜的基本原理1透射电镜.pdfVIP

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在26000倍下观测碳酸钙粉末在18900倍下对PVC树脂进

行观测

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第二章电镜的根本原理和构造

第一透射电镜

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一、电镜的开展历史

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▼1932年鲁斯卡创造创制了第一台透射电子显微

镜实验装置(TEM)。

▼相继问世了扫描透射电子显微镜(STEM)、扫描

电子显微镜(SEM)以及上述产品与X射线分析系

统(EDS、WDS)的结合,即各种不同类型分析型

电子显微镜。

▼1986年,宾尼格和罗雷尔先后研制成功扫描隧

道电子显微镜(STM)和原子力电子显微镜(AFM),

使人类的视野得到进一步的扩展。

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二、透射电镜(TEM)根本原理

20世纪20年代,发现电子流具有波动

的性质,是一种电磁波,其波长比光波短

10万倍以上.如果能够制成一台用电子束

成像的电子显微镜,分辨本领便可大大提

高.自1932年德国Ruska和Knoll研制出

第一台电子显微镜,至今已60余年.经过

半个多世纪的开展,今天的透射电子显微

镜(TEM)不仅是一台放大倍数可达100万

倍以上,可以直接分辨小到一两个埃的单

个原子的显微镜,并且还能进行纳米尺度

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的晶体结构及化学组成分析,成为全面评

1.显微镜的分辨率

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显微镜分辨率≈λ/2

放大倍数=眼睛分辨率/显微镜分辨率

•光学显微镜的分辨率为光波波长的一半(约为2000Å),

眼睛的分辨率为0.2mm,因此光学显微镜最大放大倍数为

1000倍,超过这个数值并不能得到更多的信息,而仅仅是

将一个模糊的斑点再放大而已.多余的放大倍数称为空

大。

根据以上公式,要提高分辨率和放大倍数,必须降低照

明光源的波长

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为了看清楚原子.电镜必须有优于2.5Å的原子尺寸的分辨

率和50万~100万倍的放大倍数,否那么就不能在底片上记录

下原子的存在。目前200kV电镜的技术水平已到达放大倍数

100万倍,点分辨率1.9Å,晶格分辨率1.4Å.目前最高水

平仪器的品格分辨率可达0.5Å.根本可以在底片上记录下

原于的存在,清晰地反映原子在空间的排列.

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为什么电子显微

镜有这么高的分

辨率和放大倍数

呢?电子波长λ=h/mv

h-普朗克常数

m-电子的质量

v取决于加速电压

2

mv=2eU

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加速电压与电子波波长的关系

1kv0.388A2kv0.2

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