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SQDL平台HF干法刻蚀机（HF+vapor+etcher）标准操作流程及使用规范（SOP）.pdf

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    上海科技大学量子器件中心（SQDL）

    工艺设备SOP

    HF干法刻蚀机（HFvaporetcher）

    版本：V1

    发布年份：2021年

    编写人：马驰原

    设备管理工程师：马驰原

    上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：HF干法刻蚀机（HFvaporetcher）

    目录

    1.设备功能（ToolFunction）2

    2.设备使用登记（Register）2

    3.设备安全规范（Safety）2

    4.HF干法刻蚀机（HFvapo

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