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SQDL平台湿法腐蚀台（编号2-06）操作规程（SOP).pdf

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    上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP：湿法腐蚀台（金属刻蚀及清洗通风橱，含超声功能）

    湿法腐蚀台（金属刻蚀及清洗通风橱，含超声功能）标准操作流

    程及使用规范

    目录

    1.设备功能（ToolFunction）1

    2.设备使用登记（Register）1

    3.设备安全规范（Safety）1

    4.通风橱（FumeHood）4

    有

    4

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