电子显微镜与能谱分析技术详解(33页).pptVIP

扫描电子显微镜和能谱分析技术;

主要内容

扫描电镜(SEM)能谱仪(EDS);

1扫描电镜的作用:;

电子源;

背散射电子

特征X射线

吸收电子;

二次电子、背散射电子和特征X射线;

0

W

e

二次电干

u2t0658D100;

3扫描电镜的主要构造;

信号收集

8eam

Final

Pole

Backscanergd

Backscanered

Eleetran

Colector

araduyCage+200MAaminumCealmgonScinfidator

(+12kV)

Photomuepter

Lght

Gude;

4扫描电镜对样品的作用一一

加速电压、电子束与样品之间的关系;

4扫描电镜对样品的作用一—

二次电子与背散射电子之间的区别;

AlSn;;

A

工作距离的影响

Workingdisth;

5能谱仪(EDS)的工作原理

■能谱仪(EDS)是利用X光量子有不同的能量,由Si(li)探测器接收后给出电脉冲讯号,经放大器放大整形后送入多道脉冲分析器,然后在显像管上把脉冲数一脉冲高度曲线显示出来,这就是X光量子的能谱曲线。;

6能谱仪(EDS)的结构;

7能谱仪(EDS)的特点

优点

-1)快速并且可以同时探测不同能量的X-光能谱

2)接受信号的角度大。

3)仪器设计较为简单

4)操作简单;

型号

日本电子JEOL-6380LV

■美国EDAXGENESIS2000;

SEM/EDS的主要性能指标

SEM

■分辨率:高真空模式:3.0nm;低真空模式:4.0nm

低真空:1-270Pa

加速电压:0.5KV-30KV

放大倍数:5倍-30万倍

电子枪:W发卡灯丝式

检测器:高真空模式和低真空模式下的二次电子检测，背散射电子检测

■EDS

■能量分辨率:132eV

分析范围:Be-U;

JEOL-6380/SEM的工作界面;

颗粒

10,0000-Au

6,0000-纳米晶

金刚石;

EDAX-EDS的工作界面---谱线收集;;

EDAX-EDS的工作界面---区域分析;

区域分析实例一颗粒;

EDAX-EDS的工作界面---面扫描;

面扫描实例-Cu网;

120

100

80

60

40

20

0

-20

-50050;

9电镜样品的制备;

(3)粉末样品的制备:

导电胶一一粘牢粉末一—吸耳球一一观察

悬浮液——??在样品座上一—溶液挥发一—观察;

谢谢