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2022年全球及中国半导体设备零部件市场现状

分析

一、半导体设备零部件综述

半导体设备精密零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、

耐击穿电压等特性，生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处

理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科，是半导体

设备核心技术的直接保障。半导体设备零部件种类繁多，可大致分为：

机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器仪表类、光

学类等。

具体来看，机械类零部件应用最为广泛，包括组成设备的各种框

架、结构件，以及实现晶圆反应环境的特殊工艺零部件。其次是电气

类零部件，作为设备中控制工艺制程的核心部件，需求及技术突破难

度都较高。气/液/真空系统类则根据设备种类不同，有所差异，例如

干法设备需要配备气体系统和真空系统，湿法设备需要配备液体供应

系统，品类繁多、功能各异，产品稳定性和一致性与国外水平尚存差

距，整体国产化率不算高。并且在高端先进制程应用中，零部件的国

产化率更低、突破难度更高。

以国内设备上市公司拓荆科技和华海清科为例，拓荆科技作为干

法设备厂商，主要产品为等离子体薄膜设备，成本结构中电气类占比

较高，并且也有较多的气体输送系统用量。而华海清科主要产品CMP

设备属于湿法范畴，机械类零部件占比超过60%，并且涉及到清洗液、

抛光液使用，液路元件占比达14%。

注：拓荆科技原材料采购比例数据为2021年1-9月，华海清科数

据为2021年1-12月。

二、半导体设备相关政策梳理

三、半导体设备零部件产业链

从产业链来看，半导体设备零部件产业链上游为原材料，主要包

括金属原材料、非金属原材料和铝合金材料，产业链下游为IDM、

Foundry及封测客户。

四、半导体设备零部件行业现状分析

从半导体设备市场来看，据统计，2021年全球半导体设备市场销

售额达到1026亿美元，其中中国大陆半导体设备销售额达到296.2

亿美元，成为全球半导体设备第一大市场。2018-2021年中国半导体

设备销售额占全球比重由18.30%提升至28.86%，随着政策扶持和技

术的不断突破，中国半导体设备增速提升趋势明显。

从细分市场来看，全球半导体设备销售额前三细分市场为薄膜沉

积设备、刻蚀设备、光刻设备，2021年销售额分别为248/197/193

亿美元。

从半导体设备零部件市场来看，以公开披露的中微公司2016-2018

年原材料采购情况和拓荆科技2018-2020年原材料采购情况为例，涉

及的精密零部件采购占比约为50%-60%，同时考虑到半导体设备行业

的直接材料采购成本为其收入的50%-60%，推算半导体设备精密零部

件规模约为半导体设备市场规模的25%-35%。因此对应，2021年全

球半导体设备零部件市场规模约为256.5亿美元，国内市场规模为74

亿美元。

五、半导体设备零部件行业竞争格局

1、市场竞争格局

从行业竞争格局来看，半导体设备本身结构复杂，对加工精度、

一致性、稳定性要求较高，导致精密零部件制造工序繁琐，技术难度

大，行业内多数企业只专注于个别生产工艺，或专注于特定精密零部

件产品，行业内细分赛道繁多、市场格局较为分散，尚未出现垄断性

龙头厂商。

2、国产化情况

与我国半导体设备及零部件的市场规模相较，我国国产化供给亟

需增加，市场供需不匹配。半导体设备零部件的国产化率整体较低，

国内厂商主要在机械类和气体类零部件中取得突破。

六、半导体设备零部件行业发展趋势

1、当前，全球半导体设备市场由国际厂商主导，与之配套的半导

体设备精密零部件制造商主要为美国、日本和中国台湾地区的上市公

司。而国内规模较大的半导体设备精密零部件厂商主要为中国台湾地

区的京鼎精密和日本Ferrotec等外资企业的境内子公司，其主要为国

际半导体设备厂商供货。半导体设备精密零部件内资企业中，富创精

密能够直接为国际半导体设备厂商制造量产产品。此外，也有以向国

内半导体设备厂商供货为主的靖江先锋和托伦斯等。随着国内半导体

市场的快速发展，国家政策重点鼓励并多方支持国内集成电路及其专

用设备产业的经营发展，并对产业链安全更加重视，内资半导体精密

零部件制造企业有望获得进一步发展，国内半导体设备精密零部件的

国产化率将不断提升。

2、出于降低成本和提升效率的目的，未