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:()
孔德茹等掺铝氧化锌AZO透明导电薄膜的研究进展09059
文章编号:()
1001-9731202309-09059-11
()*
掺铝氧化锌AZO透明导电薄膜的研究进展
1121
,,,
孔德茹安佳钰刘靖孙冬兰
(,;
1.天津科技大学理学院天津300457
,)
2.天津科技大学化工与材料学院天津300457
:(),,
摘要新型掺铝氧化锌透明导电薄膜光学性能优异成本低廉有望取代技术成熟的掺锡氧化铟
AZO
()。,,
ITO薄膜主要简述了AZO薄膜的结构及其光电性能重点综述了薄膜的制备工艺以及应用领域对极具开
发潜力的AZO薄膜的产业化前景进行了展望。
:;;;;
关键词AZO薄膜特性制备工艺应用产业化前景
中图分类号:文献标识码::/
O484ADOI10.3969.issn.1001-9731.2023.09.008
j
-2
·,
膜室温下电阻率可低至10Ωcm薄膜表面致密均
引言
0[]
13
、,,
匀光滑平整透过率基本都可达到80%甚至更高
,()
世纪初期科学家发现透明导电氧化物,
20TCO而且电导率和透过率还可以进一步改善因此该方向
[][]
12
,
薄膜兼具透明和导电双重特性于是开始
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