半导体设备行业走进“芯”时代系列深度之八十四“光刻机”：半导体设备系列报告之光刻机，国产路漫其修远，中国芯上下求索-华金证券.docxVIP

半导体设备行业走进“芯”时代系列深度之八十四“光刻机”：半导体设备系列报告之光刻机，国产路漫其修远，中国芯上下求索-华金证券.docx

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半导体设备行业走进“芯”时代系列深度之八十四“光刻机”：半导体设备系列报告之光刻机，国产路漫其修远，中国芯上下求索-华金证券

证券研究报告

半导体设备/行业深度报告领先大市-A（维持）

华金证券电子团队——走进“芯”时代系列深度之八十四“光刻机”

国产路漫其修远，中国芯上下求索

——半导体设备系列报告之光刻机

分析师：分析师：联系人：

孙远峰王海维宋鹏

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2024年07月18日

本报告仅供华金证券客户中的专业投资者参考请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明

核心观点

u光源、数值孔径、工艺系数、机台四轮驱动，共促光刻产业升级。分辨率由光源波长、数值孔径、光刻工艺因子决定.（1）光源波长（λ）——光源：其他条

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