ORC-LDI-曝光机机操作指引.doc

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兴邦电子科技有限公司

文件编号

XB03-ME-46

ORCLDI曝光机操作指引

文件版本

A/0

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标准化管理工厂

标准化管理工厂

兴邦电子科技有限公司

《WI》作业文件封面

文件名称

ORCLDI曝光机操作指引

版本号

A

文件编号

XB03-ME-46

制定部门

工艺部

制定/日期

审核/日期

批准/日期

文件修订履历记录

版次

页数

修订内容

日期

A/0

10

新发行

2019-01-20

相关联部门会签

部门

生产部

工艺部

品质部

签名

1、目的：

本指示目的在于为ORCLDI曝光机建立一个标准操作流程，以保障内层ORC曝光工序的

稳定、顺畅进行生产。

2、范围：

本指示适用于内层工序ORCMms808C型LDI曝光机.

3、参考文件

无

4、定义

无

5、职责

5.1生产部（PROD）：负责日常操作并根据制作标准控制工作参数/条件；

5.2工艺部（ME）：负责为生产中出现的问题提供技术支援；

5.3设备部（MA）：负责为各生产设备提供保养及维修服务；

5.4品质部（QA）：负责流程参数的监控调校；

5.5工程部（PE）：负责机台工具资料的制作。

6、作业内容：

6.1流程

2开机

2开机

3资料转换

4作业设定

5上板

6确认所有参数、设置

7试做

8首件检查

首件显影

QA检测

NG的调整参数或检查资料

OK

8.批量生产

1.作业准备

6.2设备操作指示步骤详解

序号

流程图

操作要领

操作标准参考图片

要求或标准

1

作业准备

作业准备

检查打开并无尘室环境空调。

（无尘室需一直保持开启状态，ORC开机情况下禁止关无尘室内空调）

室内温度22±

2℃；

停电后要开空

调足24小时，

才能开机。

2

开机

开机

打开冷却水阀

打开气压阀

打开机器电源开关

（开关向上打，使电源指

示灯亮起）

打开机台的独立空调

（打开空调机屏幕盖板，

分别按右侧两开关键1

次，使显屏亮起）

5.开启冰水机

（按冰水机右侧屏幕开关键

1次，使显屏亮起）

开启DCS1→DCS2→DCS3

开启DPS1→DPS2

（开机按1→3顺序按开、

关机从3→1倒序按关机）

开启UPS

（按下UPS区右侧开关，使

指示亮起）

关机的顺序与开机完全相反，是开机的倒序。

2.开了FS后要等五分钟以上再开锁.

3.打开空调后等温度稳定后再打开冰水机。

2

开机

开机

开启FS

9.拧开钥匙

（钥匙向右旋至NO位松

开）

开启机台电脑主机DIM

（机台显示器下方机台

内）

11.开启机台显示器

（长按显示视右下角按

钮3～4S）

开启机台外主机电脑

（正常电脑开机）

13.等待十分钟后开启转换资料的电脑

1.关机的顺序与开机完全相反，是开机的倒序。

2.开了FS后要等五分钟以上再开锁.

3.机台开机状态下，机台的独立空调、冰水机禁止关闭。

3

资料转换

资料转换

开启DCSpooler...-shortcut

开启ImageAgent

开启ImageMaster

打开内层

打开Temp

点击生产资料

选择要生产对应的型号移入Temp

选择要生产对应的型号移入对应的转换层别或外层阻焊，

移入对应的层别后会出现JobName及生产型号点击OK,

出现LayerName点击OK

.开始自动转换，当ImageMaster-4.3.0及DataConversionSpooler界面里要转换的型号后出现Finsh资料转换完成。

8.外层线路及内层线路2-9层移入GTL/GBLL2-L9,十层以上移入INNERONLYL2-LXX;外层阻焊移入SOLDERGTS/GBS.

4

作业设定

作业设定

打开WinGP及DcsbackupJ界面

点击作业登録

选择生产型号，待右边框出现配对信息后，把曝光能量调节到合适值，检查无误点击下一个。

出现处理条件变更界面后选择对位类型，更改基板尺寸（长.宽.厚度），对位補正（补偿），选择识别方向（XY-on/Y-ON/X-ON）然后登记

选择设定后的型号，描画开始，出现是否开始描画界面，点击OK界面显示被照明的调整，请稍等。

当界面出现操作等待，可以做板。

线路AQ4088干膜曝光能量选60Mj.xcf普通干膜50Mj.xcf阻焊H9100选400Mj.xcf，以上是测试数据，做每款板之前再测曝光尺为准。

5

上板

上板

1.把板放入定