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报告说明
半导体行业对于气源及其供应系统有着苛刻的要求，电子气体的
深度提难度大，而度是气体质量最重要的指标C在芯片加工过程
中，微小的气体净度差异将导致整个产品性能的降低甚至报废。电
子气体度往往要求5N以上级别，还要将金属元素净化到10-9级至
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