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氮化硅陶瓷基片
一工作简况
(一)制定背景及任务来源
陶瓷基片的广泛应用促进了电子产业的发展和技术创新。它可以
应用于高功率电子设备、电动车辆、通信系统等领域,提高设备性能
和效率,推动绿色和可持续发展。陶瓷基片已被广泛用于高功率电子
器件、LED封装、半导体模块等领域。半导体器件正沿着大功率化、
高频化、集成化的方向发展,快速散热、复杂服役环境(颠簸、震动
等),对半导体封装服役可靠性提出了更高要求,迫切需求兼具高热
导率、优良力学性能、热膨胀系数匹配好的的陶瓷基片材料。
氮化硅陶瓷基片以其硬度高、机械强度高、耐高温和热稳定性好、
在介电常数和介质损耗、耐磨损、耐腐蚀等方面优异的性能,被认为
是目前综合性能最好的陶瓷材料,在汽车减震器、发动机、车用IGBT
等产品,以及交通轨道、航天航空等领域广泛应用并逐步替代Al2O3
和AlN陶瓷基片。
国内氮化硅陶瓷基片研究开发较晚,日本在氮化硅陶瓷基片技
术、市场方面占有绝对的领先权。氮化硅相对其他基片材料拥有一系
列优良特性,目前国内没有氮化硅陶瓷基片材料及物理性能标准,此
标准属于缺失状态,导致企业之间、国内与国外企业之间无法对标,
给交流带来了很大的障碍。
本次标准制定根据国家标准委文件要求,由中材高新氮化物陶瓷
有限公司负责《氮化硅陶瓷基片》(项目计划编号T-609)
的制定工作,由全国工业陶瓷标准化技术委员会(SAC/TC194)归口。
(二)主要工作过程
中材高新氮化物陶瓷有限公司开展了高导热氮化硅陶瓷基片的
共性关键研发工作,研发的基片产品性能与日本性能接近。公司建设
了高导热氮化硅基片生产线,突破了基片批量化制备技术。
在标准项目计划下达后,中材高新氮化物陶瓷有限公司组织成立
了《氮化硅陶瓷基片》国家标准制定工作组,并组织召开了工作组会
议。会议确定在会议上确定了标准制定原则、制定方案、制定工作计
划及制定组成员。
(三)主要参加单位和工作组成员及其所做的工作
本标准起草单位是中材高新氮化物陶瓷有限公司、山东工业陶瓷
研究设计院有限公司。标准工作组成员分别为孙峰、尚超峰、张辉、
王再义、张业雷、袁振伟、董廷霞。经过讨论,会议确定了标准的制
定原则、制定方案及制定工作计划。
本标准主要起草单位及其分工如表1所示。
表1本标准主要起草单位及其分工
单位名称分工主要工作
中材高新氮化物陶瓷有限公负责标准总体方案制定、性能指标确
司、负责定、试验验证等工作
山东工业陶瓷研究设计院有限单位
负责标准撰写和主要内容改进等工作
公司
江苏富乐华半导体科技股份有参与
负责部分试验验证及内容的改进
限公司、罗杰斯科技有限公司单位
浙江德汇电子陶瓷有限公司、
参与
中国建材检验认证集团有限公提出修改意见,共同修改完善标准
单位
司
本标准主要起草人员及其分工如表2所示。
表2本标准主要起草人员及其分工
姓名主要工作
孙峰负责标准指导工作
尚超峰、张辉负责标准总体方案制定、前期策划工作
王再义负责标准验证方案的策划工作
张业雷负责标准技术方案撰写及申报
袁振伟负责标准撰写工作
董廷霞负责标准审核工作
二标准编制原则和主要内容
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