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氮化硅陶瓷基片

一工作简况

（一）制定背景及任务来源

陶瓷基片的广泛应用促进了电子产业的发展和技术创新。它可以

应用于高功率电子设备、电动车辆、通信系统等领域，提高设备性能

和效率，推动绿色和可持续发展。陶瓷基片已被广泛用于高功率电子

器件、LED封装、半导体模块等领域。半导体器件正沿着大功率化、

高频化、集成化的方向发展，快速散热、复杂服役环境（颠簸、震动

等），对半导体封装服役可靠性提出了更高要求，迫切需求兼具高热

导率、优良力学性能、热膨胀系数匹配好的的陶瓷基片材料。

氮化硅陶瓷基片以其硬度高、机械强度高、耐高温和热稳定性好、

在介电常数和介质损耗、耐磨损、耐腐蚀等方面优异的性能，被认为

是目前综合性能最好的陶瓷材料，在汽车减震器、发动机、车用IGBT

等产品，以及交通轨道、航天航空等领域广泛应用并逐步替代Al2O3

和AlN陶瓷基片。

国内氮化硅陶瓷基片研究开发较晚，日本在氮化硅陶瓷基片技

术、市场方面占有绝对的领先权。氮化硅相对其他基片材料拥有一系

列优良特性，目前国内没有氮化硅陶瓷基片材料及物理性能标准，此

标准属于缺失状态，导致企业之间、国内与国外企业之间无法对标，

给交流带来了很大的障碍。

本次标准制定根据国家标准委文件要求，由中材高新氮化物陶瓷

有限公司负责《氮化硅陶瓷基片》（项目计划编号T-609）

的制定工作，由全国工业陶瓷标准化技术委员会(SAC/TC194)归口。

（二）主要工作过程

中材高新氮化物陶瓷有限公司开展了高导热氮化硅陶瓷基片的

共性关键研发工作，研发的基片产品性能与日本性能接近。公司建设

了高导热氮化硅基片生产线，突破了基片批量化制备技术。

在标准项目计划下达后，中材高新氮化物陶瓷有限公司组织成立

了《氮化硅陶瓷基片》国家标准制定工作组，并组织召开了工作组会

议。会议确定在会议上确定了标准制定原则、制定方案、制定工作计

划及制定组成员。

（三）主要参加单位和工作组成员及其所做的工作

本标准起草单位是中材高新氮化物陶瓷有限公司、山东工业陶瓷

研究设计院有限公司。标准工作组成员分别为孙峰、尚超峰、张辉、

王再义、张业雷、袁振伟、董廷霞。经过讨论，会议确定了标准的制

定原则、制定方案及制定工作计划。

本标准主要起草单位及其分工如表1所示。

表1本标准主要起草单位及其分工

单位名称分工主要工作

中材高新氮化物陶瓷有限公负责标准总体方案制定、性能指标确

司、负责定、试验验证等工作

山东工业陶瓷研究设计院有限单位

负责标准撰写和主要内容改进等工作

公司

江苏富乐华半导体科技股份有参与

负责部分试验验证及内容的改进

限公司、罗杰斯科技有限公司单位

浙江德汇电子陶瓷有限公司、

参与

中国建材检验认证集团有限公提出修改意见，共同修改完善标准

单位

司

本标准主要起草人员及其分工如表2所示。

表2本标准主要起草人员及其分工

姓名主要工作

孙峰负责标准指导工作

尚超峰、张辉负责标准总体方案制定、前期策划工作

王再义负责标准验证方案的策划工作

张业雷负责标准技术方案撰写及申报

袁振伟负责标准撰写工作

董廷霞负责标准审核工作

二标准编制原则和主要内容