半导体设备管理与维护作业指导.docVIP

半导体设备管理与维护作业指导

TOC\o1-2\h\u5116第1章设备管理基础 3

113991.1设备管理概述 3

243981.2设备管理的重要性 3

324381.3设备管理的基本任务 4

12920第2章设备维护策略 4

301312.1维护策略制定 4

49112.1.1设备分类 4

156512.1.2维护策略类型 5

205422.1.3维护周期 5

234172.1.4维护内容 5

178792.2预防性维护 5

55022.2.1维护计划 5

85692.2.2维护实施 5

223122.2.3维护记录 5

25382.3预测性维护 5

51592.3.1数据收集 5

297172.3.2数据分析 5

260602.3.3维护决策 5

296482.4纠正性维护 6

64572.4.1故障诊断 6

40502.4.2维护措施 6

143282.4.3维护跟踪 6

6757第3章设备维护计划与实施 6

98373.1维护计划的制定 6

237033.1.1维护计划的目标 6

37793.1.2维护计划的内容 6

40823.1.3维护计划的制定流程 6

174683.2维护计划的执行 7

171623.2.1维护计划的实施 7

271533.2.2维护计划的监控 7

264613.3维护计划的评估与优化 7

169643.3.1评估指标 7

315813.3.2评估方法 7

276683.3.3优化措施 7

6556第4章设备故障诊断与分析 7

222534.1设备故障分类 7

159784.1.1按故障部件分类 8

56504.1.2按故障性质分类 8

244314.2故障诊断方法 8

251644.2.1直接观察法 8

33314.2.2参数检测法 8

170004.2.3信号分析法 8

213274.2.4专家系统法 8

226004.3故障树分析 8

3874.3.1建立故障树 8

327194.3.2定性分析 9

285774.3.3定量分析 9

56274.4设备故障案例分析 9

244894.4.1案例一：晶圆切割机切割不良 9

127664.4.2案例二：蚀刻机温度异常 9

156644.4.3案例三：光刻机对位不准确 9

9819第5章设备维护团队建设与管理 9

221835.1维护团队的组建 9

68645.2维护人员培训与管理 10

178825.3团队协作与沟通 10

148735.4维护团队绩效评估 10

10613第6章设备备品备件管理 10

129366.1备品备件分类与编码 10

80746.1.1备品备件分类 10

222176.1.2备品备件编码 10

126516.2备品备件库存管理 11

283706.2.1库存分类 11

90626.2.2库存管理要求 11

3246.3备品备件采购与质量控制 11

284316.3.1采购管理 11

248126.3.2质量控制 12

95456.4备品备件信息化管理 12

264426.4.1信息化管理平台 12

74686.4.2信息化管理流程 12

19525第7章设备维护质量控制 12

162437.1维护质量控制体系 12

195647.1.1建立维护质量控制体系的重要性 13

312687.1.2维护质量控制体系构建 13

67887.2维护过程质量控制 13

16637.2.1维护计划制定 13

159137.2.2维护过程监控 13

152387.2.3维护过程质量控制措施 13

206847.3维护质量评估与改进 13

147427.3.1维护质量评估 13

213367.3.2维护质量改进措施 13

245477.4维护质量风险管理 14

271987.4.1风险识别与评估 14

171237.4.2风险控制措施 14

31430第8章设备维护成本控制 14

212148.1维护成本分析 14

152968.2维护成本预算与控制