《离子辅助沉积用射频离子源》.pdf

ICS71.100.20

CCSJ78

ACCEM

中国商业企业管理协会团体标准

T/ACCEMXXXX—XXXX

离子辅助沉积用射频离子源

Radio-frequencyionsourcesforionassisteddeposition

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国商业企业管理协会发布

T/ACCEMXXXX—XXXX

离子辅助沉积用射频离子源

1范围

本文件规定了离子辅助沉积用射频离子源的产品参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随

行文件、包装、运输和贮存。

本文件适用于离子辅助沉积用射频离子源的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T17626.2电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验

GB/T17626.4电磁兼容试验和测量技术电快速瞬变脉冲群抗扰度试验

GB/T17626.5电磁兼容试验和测量技术浪涌(冲击)抗扰度试验

GB/T17626.11电磁兼容试验和测量技术第11部分：对每相输入电流小于或等于16A设备的电压

暂降、短时中断和电压变化抗扰度试验

GB/T18268.1测量、控制和实验室用的电设备电磁兼容性要求第1部分：通用要求

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4产品参数

产品参数如表1所示。

表1产品参数

项目指标

最大束流1500mA

离子发射能量1500eV

中和电子供应能力＞3A

连续工作时间＞200h

工作气体氧气、氩气

5技术要求

5.1工作环境

产品的工作环境应符合以下规定：

a)环境温度：5℃～40℃；

b)环境相对湿度：30%RH～70%RH；

c)大气压力：在86kPa～106kPa范围内的当地平均大气压；

d)不应受到影响使用的震动和强电磁场干扰；

e)供电电源：三相208V交流电，交流电压180V～229V，频率47Hz～63Hz；

f)室内应无腐蚀性气体，通风良好。

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5.2外观

5.2.1产品应外观整齐、清洁，表面涂、镀层无明显剥落、擦伤