《电阻法碳化硅单晶生长设备》.pdf

ICS25.180.10

CCSK61

CES

团体标准

T/CESXXXX—XXXX

电阻法碳化硅单晶生长设备

Siliconcarbidesinglecrystalgrowthequipmentbyresistance

method

（征求意见稿）

xxxx­xx­xx发布xxxx­xx­xx实施

中国电工技术学会发布

T/CESXXXX—XXXX

目次

前  言II

1 范围1

2 规范性引用文件1

3 术语和定义1

4 产品分类3

5 技术要求4

6 试验方法7

7 检测规则8

8 标志、包装、运输和贮存9

9 订购与供货10

Ⅰ

T/CESXXXXXXXX

—

前  言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规

则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国电工技术学会提出。

本文件由中国电工技术学会标准工作委员会电热工作组归口。

本文件起草单位：苏州优晶半导体科技股份有限公司、西安电炉研究所有限公司、江苏

科技大学。

本文件主要起草人：陈建明、余维江、张礼华、李琨、蔡金荣、陈曙光、王叶松、裴永

胜、袁长路、赵文超。

本文件为首次发布。

II

T/CESXXXX—XXXX

电阻法碳化硅单晶生长设备

1范围

本文件规定了电阻法碳化硅单晶生长设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检

验规则以及标志、包装、运输和贮存等。

本文件适用于物理气相传输法PVT(physicalvaportransport)生长半导体碳化硅、氮

化铝等单晶炉。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期

的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括

所有的修改单）适用于本文件。

GB150—2011钢制压力容器

GB/T2900.23—2008电工术语工业电热装置

GB3095—2012环境空气质量标准

GB8702—2014电磁环境控制限值

GB8978—1996污水综合排放标准

GB/T10066.1—2019电热和电磁处理装置的试验方法第1部分：通用部分

GB/T10066.4—2004电热设备的试验方法第4部分：间接电阻炉

GB