《GBT 25915.15-2022洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及.pptx

《GB/T25915.15-2022洁净室及相关受控环境第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》必威体育精装版解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;促进技术进步与产业升级;适用范围;PART;;环境因素;;PART;保障员工健康;通过气态化学物浓度评定，可了解设备及材料在洁净环境中的适应性及性能。;半导体制造;PART;;意义;PART;控制气态化学物浓度是确保洁净室及相关受控环境符合标准的关键。;;定期检查;;PART;;;如甲醛、苯、甲苯等，是常见的室内空气污染物质。;PART;测量原理;评估标准;识别在使用设备及材料过程中可能产生的风险，如气态化学物泄漏、仪器故障等。;;PART;洁净室定义;;洁净室设计与建造;PART;;洁净室设计;;PART;如二氧化硫、三氧化硫等，主要来源于含硫燃料的燃烧。;;;PART;气态化学物采样;包括采样泵、采样管、气袋等，用于收集洁净室内的气态化学物样本。;;评定流程;PART;控制系统;包括密封胶、密封条、密封垫等，用于洁净室墙体、门窗等部位的密封。;设备与材料的要求;PART;;;;PART;利用传感器和在线监测设备实时收集洁净室内气态化学物的浓度数据。;;PART;符合性判定;数值比对法;;;PART;;采用特定的测试方法，如气相色谱法、高效液相色谱法等，对设备及材料释放的气态化学物进行定性和定量分析。;设备要求;;PART;;气态化学物浓度是影响洁净室环境的关键因素之一，对产品质量有直接影响。;评定方法;PART;;高效过滤器;;监测与控制;PART;;环保性;PART;;提高测量准确性;PART;;;数据处理算法优化;设备与材料适用性验证;PART;GB/T25915.15-2022;ISO14644-8;PART;;;根据空气洁净度等级和用途，对洁净室进行分级管理。;PART;研发更灵敏、更可靠的传感器，用于检测更低浓度的气态化学物。;完善评定标准;;;PART;;;处罚措施;PART;空气质量;洁净室环境有效控制空气中的微粒和微生物，从而降低产品受到污染的风险。;;PART;空气洁净度等级;评定方法;在医药产品的生产过程中，对洁净室内气态化学物浓度进行实时监测，确保生产过程不受污染。;PART;;设备性能评估;;介绍电子行业洁净室设计、设备评估、监测与控制技术等方面的相关行业标准，为企业提供指导。;PART;食品加工过程中，对生产环境的洁净度有很高的要求，以确保产品的卫生质量。;;;;PART;定期检查过滤器;;;预防性维护;PART;;采样与分析;材料耐久性测试过程中可能产生气态化学物，影响浓度评定结果；而浓度评定结果也可能反馈到材料耐久性测试中，对测试条件进行调整。;PART;通过有效的成本控制，可以降低洁净室运行成本，提高企业盈利能力。;;PART;;精度与可靠性;监控系统实施步骤;PART;;具备基本的数据处理和图表生成功能，适用于简单数据分析。;实时监测;PART;控制污染源;根据生产流程和设备特点，合理规划设备在洁净室内的布局，减少交叉污染和干扰。;提高员工素质;;PART;质量管理体系的完善;;;;PART;针对洁净室内存在的各种气态化学物，进行种类识别和分类。;采用实时监测仪器对洁净室内气态化学物浓度进行监测。;制定控制措施;PART;;预防产品污染;满足法规要求;;PART;采用HEPA或ULPA过滤器，有效去除空气中的微粒子和气态化学物。;选择符合标准的低挥发性有机化合物（VOC）和低气味材料。;;PART;;洁净室设计规范;;PART;ISO14644标准;随着科技发展，对洁净室环境要求越来越高，洁净度等级不断提高。;国内外洁净室所用材料存在差异，如墙体、地面、空气净化设备等。;PART;;;;提升产品质量;PART;负责洁净室环境应急响应的整体指挥和协调。;;报警与接警;定期组织员工进行应急知识培训和技能演练，提高员工的应急响应能力。;PART;;;;PART;;;;照明与色彩搭配;PART;高灵敏度传感器;数据校准与修正;;;PART;满足生产工艺要求;洁净室的人机交互设计要素;洁净室的人机交互优化建议;PART;控制洁净室内气态化学物浓度，防止对生产设备和人员造成损害。;检测方法;根据洁净室对气态化学物浓度的要求，筛选符合要求的材料。;;PART;;;在线培训;PART;;为设备制造商提供明确的技术要求和测试方法，确保设备性能符合标准要求。;严格材料筛选;提升检测能力;THANKS