《GBT 25915.13-2022洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表.pptx

《GB/T25915.13-2022洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》必威体育精装版解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;国际化趋势明显;标准发布意义;PART;洁净室定义;洁净室的应用领域;空气洁净度要求;PART;粒子污染可能导致产品表面缺陷、性能下降或报废。;化学污染可能导致产品存在安全隐患，对使用者健康造成威胁。;PART;洁净室表面清洁的重要性;;;PART;洁净室及相关受控环境;洁净室管理人员;PART;每立方米空气中≥0.1μm粒径粒子数量不超过10颗，≥5μm不超过0颗，且表面洁净度要求高。;粒子洁净度要求;;PART;;;PART;有效去除表面污染物，包括粒子、化学物质、微生物等。;污染物类型;PART;洁净度等级划分;;监测方法;PART;样品台清洁;定期更换真空泵油，清洗泵体，确保真空系统的正常运行，提高电镜的真空度。;使用专用清洁剂;PART;;不同清洁剂对表面材料有腐蚀、溶解等潜在影响。;;;PART;明确评估清洁方法是否满足洁净室要求，识别可能存在的风险。;制定评估计划;;PART;;;;PART;;采集方法;检测前校准;PART;粒子污染;解决方案及措施;PART;干法清洁;高频接触表面;;;PART;;控制清洁环境;;PART;工作人员需穿着专用防护服，避免污染物接触皮肤。;电器设备安全;;PART;;;PART;;;PART;人为因素产生的污染;室外空气中的灰尘、微生物等污染物会通过空气流动进入洁净室。;设备运转时会产生微粒、废气等污染物。;PART;;;高效清洁技术广泛应用于半导体制造过程中，确保产品的质量和稳定性。;PART;;目视检查;PART;使用粒子计数器对洁净室表面进行扫描，统计各粒径粒子的数量。;;粒子洁净度要求;PART;石墨比表面积及孔径测试仪能够精确测量石墨材料的比表面积，为材料研究和应用提供重要数据。;样品制备;测试仪的注意事项;PART;力学性能测试;原子力显微镜（AFM）具有比SPM更高的分辨率，能够观察样品表面的原子级结构。;;PART;去除样品台上的污染物和残留物，确保样品放置稳定，提高观测准确性。;真空泵清洁;PART;;;PART;;能够精确测量微小角度变化，提高表面清洁度的评估精度。;通过测量接触角的大小，判断表面是否达到规定的清洁标准。;PART;比表面积仪的清洁效果评估;原理

通过模拟实际使用条件，对洁净室表面进行动态污染测试，评估其清洁效果。

优点

能够反映实际使用条件下的洁净状况，测试结果直观可靠。

缺点

测试过程复杂，对测试仪器和操作人员要求高。;动态法的清洁效果评估;PART;微生物污染可能对产品造成不良影响，如降低产品的纯度、引起过敏反应等。;清洁和消毒;通过采集洁净室表面样本，检测微生物的数量和种类。;PART;;保护人员安全;;PART;定期对洁净室工作人员进行健康检查，确保无传染病和皮肤病。;;温湿度控制;PART;危险废物识别;;通过改进生产工艺、提高材料利用率等措施，减少废物产生。;PART;洁净室设计要素;;;PART;;保持施工现场的空气洁净度，避免灰尘、微生物等污染物进入洁净室。;;PART;;包括洁净室基本知识、清洁技能、清洁剂使用、安全防护等方面。;;清洁环境监控;PART;清洁流程;监测手段;人员培训与管理;;PART;将可能产生污染的物质、微粒、气流等隔离在特定区域内，避免对洁净室造成污染。;利用气流的动力学原理，将洁净室内空气与污染源隔离，防止污染物扩散。;根据洁净度要求选择;PART;;手套箱的清洁要求;PART;;清洁度验证;;PART;包括干式清洁和湿式清洁，如擦拭、吸尘、洗涤等。;选择误区;PART;;;;清洁效果评估;PART;;;清洁前准备;PART;;;材料稳定性;干法清洁;PART;使用不合适的清洁剂可能对表面造成腐蚀或损伤，影响洁净度。;长时间暴露;PART;范德华力;;;;PART;静电对材料的影响;离子对粒子特性的影响;PART;常见的分子污染物类型;;影响因素;PART;;;;半导体制造;THANKS