洁净室和相关受控环境.pdf

  1. 1、本文档共38页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多

ISO14644-1:2015(E)

国际标准IS。”“4-1

第二版

2015年12月15日

洁净室和相关受控环境

第一部分:根据粒子浓度划分空气洁净度等级

内容:

前育

简介

1范闸

2参考标准

3术语和定义

3.1通则

3.2尘埃粒子

3.3占用状态

3.4测试仪器(见附件的

3.5仪器标准

4分级

4.1占用状态

4.2粒子粒径

4.31$0等级序数

4.4命名

4.5十进制的洁净度中间等级和粒径阀值

5相符性认证

5.1原则

5.2测试

5.3尘埃粒子浓度评估

5.4测试报告

附件A(标准)根据粒子浓度对空气洁净度进行分级的基准方法

附件B(资料〉分级计算举例

附件c(资料〉尘埃粒子计数和粒径

附件D(资料〉顺序采样法

附件E(资料〉十进制的洁净度中间等级和粒径阑值的标准

附件F(资料)测试仪器

参考文献

ISO14644-1:2015(E)

前言

ISO为全球各国标准化团体(ISO会员团体〉的联合会。英国际标准工作一般是由ISO各

技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员

会的代表.任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参

加此项工作.ISO与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。

ISO/IEC法令第1部分描述了用来制订此文件的规程和后期修订。特别应注意的是不同

类型ISO文件需要不同经批准的标准。此文件的修订与ISO/IEC法令第2部分的编辑规则一

致。(见,www.iso.orl:!/directives)

需注意的是此文件的一些内容可能受专利权保护。ISO不对其中单个或所有专利权的辨

别负责。在制订文件过程中,任何专利权细节的辨别将会在简介和/戚ISO专利声明清单里

出现。〈且~www.iso.orQ/oaten也〉

此文件中出现的任何商标名仅仅是为了便于用户,并不构成要约.

有关一致性评估的ISO特定术语和表达的意义解释,以及IS。在贸易技术性壁垒中坚持

接近阳0原则的信息,见以下链接:Foreword-Sunnlementarvinformation

负责此文件的是ISO/TC209洁净室和相关受控环境技术委员会。

此第二版取消并代替了第一版ISO14644-1:1999,这次技术性修订是彻头彻尾的。

ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下,由下述各部分组成:

第一部分:根据粒子浓度划分空气洁净度等级

第二部分:恨据粒子浓度对有关空气洁净度的洁净室性能进行证据提供与监控

第三部分:测试方法

第四部分:设计、施工和启动

第五部分:运行

第七部分:独立设施〈空气清洁罩

、手套箱、隔离器和微环境〉

第八部分:根据化学物质浓度划分空气洁净度等级

第丸部分:根据粒子浓度划分表面洁净度等级

第十部分:根据化学物质浓度划分表面洁净度等级

另外请注意ISO14698洁净室和相关受控环境之生物性污染控制:

第一部分:总则和方法

二部分:生物性污染的评估与说明

ISO14644-1:2015(E)

简介

洁净室及相关受控环境保证空气和表面的污染被控制在合适的级别,以确保完成对污染

敏感的活动。以下行业的产品或工艺完整性的保护均得益于污染控制:航天、微电子、医药、

医疗器械、保健品和食品。

ISO14644本部分明确提出空气洁净度等级以空气盘中一定浓度的粒子

您可能关注的文档

文档评论(0)

pvg-sha + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档