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ISO14644-1:2015(E)
国际标准IS。”“4-1
第二版
2015年12月15日
洁净室和相关受控环境
第一部分:根据粒子浓度划分空气洁净度等级
内容:
前育
简介
1范闸
2参考标准
3术语和定义
3.1通则
3.2尘埃粒子
3.3占用状态
3.4测试仪器(见附件的
3.5仪器标准
4分级
4.1占用状态
4.2粒子粒径
4.31$0等级序数
4.4命名
4.5十进制的洁净度中间等级和粒径阀值
5相符性认证
5.1原则
5.2测试
5.3尘埃粒子浓度评估
5.4测试报告
附件A(标准)根据粒子浓度对空气洁净度进行分级的基准方法
附件B(资料〉分级计算举例
附件c(资料〉尘埃粒子计数和粒径
附件D(资料〉顺序采样法
附件E(资料〉十进制的洁净度中间等级和粒径阑值的标准
附件F(资料)测试仪器
参考文献
ISO14644-1:2015(E)
前言
ISO为全球各国标准化团体(ISO会员团体〉的联合会。英国际标准工作一般是由ISO各
技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员
会的代表.任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参
加此项工作.ISO与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。
ISO/IEC法令第1部分描述了用来制订此文件的规程和后期修订。特别应注意的是不同
类型ISO文件需要不同经批准的标准。此文件的修订与ISO/IEC法令第2部分的编辑规则一
致。(见,www.iso.orl:!/directives)
需注意的是此文件的一些内容可能受专利权保护。ISO不对其中单个或所有专利权的辨
别负责。在制订文件过程中,任何专利权细节的辨别将会在简介和/戚ISO专利声明清单里
出现。〈且~www.iso.orQ/oaten也〉
此文件中出现的任何商标名仅仅是为了便于用户,并不构成要约.
有关一致性评估的ISO特定术语和表达的意义解释,以及IS。在贸易技术性壁垒中坚持
接近阳0原则的信息,见以下链接:Foreword-Sunnlementarvinformation
负责此文件的是ISO/TC209洁净室和相关受控环境技术委员会。
此第二版取消并代替了第一版ISO14644-1:1999,这次技术性修订是彻头彻尾的。
ISO14644在洁净室及相关受控环境的总标题下,由下述各部分组成:
第一部分:根据粒子浓度划分空气洁净度等级
第二部分:恨据粒子浓度对有关空气洁净度的洁净室性能进行证据提供与监控
第三部分:测试方法
第四部分:设计、施工和启动
第五部分:运行
第七部分:独立设施〈空气清洁罩
、手套箱、隔离器和微环境〉
第八部分:根据化学物质浓度划分空气洁净度等级
第丸部分:根据粒子浓度划分表面洁净度等级
第十部分:根据化学物质浓度划分表面洁净度等级
另外请注意ISO14698洁净室和相关受控环境之生物性污染控制:
第一部分:总则和方法
二部分:生物性污染的评估与说明
第
ISO14644-1:2015(E)
简介
洁净室及相关受控环境保证空气和表面的污染被控制在合适的级别,以确保完成对污染
敏感的活动。以下行业的产品或工艺完整性的保护均得益于污染控制:航天、微电子、医药、
医疗器械、保健品和食品。
ISO14644本部分明确提出空气洁净度等级以空气盘中一定浓度的粒子
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