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等离子清洗机根底知识

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做

物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。

等离子体的等离子体的活性活性组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素

〔亚稳态〕、光子等。等离子体外表处理仪就是通过利用这些活性组

分的性质来处理样品外表，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。

等离子清洗原理

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态

三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四中状态存在，如地球大

气中电离层中的物质。等离子体状态中存在以下物质：处于高速运动

状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团〔自由基〕；

离子化的原子、分子；未反响的分子、原子等，但物质在总体上仍保

持电中性状态。

等离子体特殊性质的具体应用

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两

个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，

分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它

们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏

几乎所有的化学键，在任何暴露的外表引起化学反响，不同气体的等

离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，

能氧化光刻胶反响生成气体，从而到达清洗的效果；腐蚀性气体的等

离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子

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处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。

等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的活化

作用〞到达去除物体外表污渍的目的。就反响机理来看，等离子体清

洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附

在固体外表；被吸附基团与固体外表分子反响生成产物分子；产物分

子解析形成气相；反响剩余物脱离外表。

等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可

进展处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、

聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处

理，并可实现整体和局部以及复杂构造的清洗。

等离子体清洗还具有以下几个特点

容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时

间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在外表产生损伤层，外

表质量得到保证；由于是在真空中进展，不污染环境，保证清洗外表

不被二次污染。

编辑本段等离子清洗机在各行业的应用

等离子技术在橡塑行业产品上的作用机理

我们在工业应用中发现一些橡胶塑料件在进展外表连接的时候

会出现粘接困难的问题，这是因为聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是

没有极性的，这些材料在未经过外表处理的状态下进展的印刷、粘合、

涂覆等效果非常差，甚至无法进展。

有些工艺用一些化学药剂对这些橡塑外表进展处理，这样能改变

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材料的粘接效果，但这种方法不易掌握，化学药剂本身具有毒性，操

作非常麻烦，本钱也较高，而且化学药剂对橡塑材料原有的优良性能

也有影响。

利用等离子技术对这些材料进展外表处理，在高速高能量的等离

子体的轰击下，这些材料构造外表得以最大化，同时在材料外表形成

一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进展印刷、粘合、涂覆等操作。

应用等离子技术对橡塑外表处理，其操作简单，处理前后没有有害物

质产生，处理效果好，效率高，运行本钱低。

等离子技术在橡胶、塑料行业的应用

等离子外表处理技术的应用领域包括橡胶、复合材料、玻璃、布

料、金属等，涉及各行各业，这篇文章中我们主要介绍其在橡胶、塑

料领域一些行业的具体应用。

等离子技术在汽车行业的应用

3.1.1点火线圈

随着汽车行业的开展，其各方面性能要求越来越高。点火线圈有

提升动力，最明显的效果是提升行驶时的中低速扭距；消除积碳，更

好的保护发动机，延长发动机的寿命；减少或消除发动机的共振；燃

油充分燃烧，减少排放等诸多功能。要使点火线圈充