2024年中科飞测分析报告：产品矩阵加速完善，国产化破局可期.pdf

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中科飞测：产品矩阵加速完善，国产化破局可期

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中科飞测：大陆量检测设备龙头，国产替换先锋

公司于2014年在中科院微电子所孵化下成立，2017年公司主要产品无图形晶圆缺陷检测设备[Table_BaseData]

通过SMIC产线验证，2018年图形晶圆缺陷检测设备通过长电科技先进产线验证，2021年无

图形晶圆缺陷检测设备通过国家科技重大专项验收。现阶段公司产品包括纳米图形晶圆检测设

备、无图晶圆检测设备、关键尺寸量测设备、三维形貌量测设备等共计九大系列产品，以及三

大系列软件，能够覆盖28nm