《自动匀胶机》（征求意见稿）.docx

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自动匀胶机

1范围

本文件规定了的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、使用说明书、包装、运输和贮存。

本文件适用于的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T4208—2017外壳防护等级（IP代码）GB/T4879防锈包装

GB/T5080.7—1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方案

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T13306标牌

GB/T25371铸造机械噪声声压级测量方法3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4结构与参数

4.1结构

4.1.1产品结构图如图一所示。

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图1产品结构图

4.1.2产品由以下部位构成：

a)机架；

b)晶圆取/收位；

c)机械手式搬运机构；

d)晶圆定中机构；

e)不锈钢匀胶腔；

f)热板；

g)排风系统；

h)电控单元

i)胶路系统及气路系统等。

4.2参数

产品参数如表1所示。

表1参数

项目

指标

主轴转速

0～5000rpm

转速精度

±2RPM

热板单元

室温～200℃±1℃

正常运行（每月）

95%

真空

压力

≥-70KPa

流量

≥30L/min

接口

φ10快速接头

压缩空气

压力

≥0.6Mpa

流量

≥40L/min

管径

φ10快速接头

排风口

排风量

≥2000L/min

接口

外径φ100mm

胶腔胶液回收

排放方式

重力排放

管径

3/4特氟龙管

电源及功率

AC220V±10%50Hz4.7KW

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5技术要求

5.1外观

5.1.1外观表面应干净整洁，无脏污、色溃，无图样未规定的凸起、凹陷、粗糙不平。外露的加工表面无磕碰、划伤和锈蚀。

5.1.2焊缝应平整，无夹渣、气孔、未焊透、裂纹。

5.1.3镀层应无脱皮、起泡、锈迹。

5.1.4涂漆层应光滑、平整，颜色、光泽应均匀一致，漆膜不应有流挂、起泡。

5.1.5标牌应平整牢固、不歪斜，标牌上的文字、符号、标志应清晰、端正。

5.2尺寸偏差

产品实际尺寸与图纸标示尺寸允许偏差应为±5%。

5.3装配质量

5.3.1零部件应齐全、完整，各部件应装配牢固，连接可靠。

5.3.2各转动部位应灵活可靠，不应有卡滞现象；各固定部位应无脱落现象。

5.4噪声

空转噪声应≤85dB（A）。

5.5运行稳定性

连续运行2000片应无故障、无碎片。

5.6碎片率

应≤0.01%。

5.7设备产能

应≥180片/h。

5.8可靠性

5.8.1设备平均故障间隔时间应＞650h。

5.8.2设备平均故障修复时间应＜8h。

5.9安全

5.9.1电气安全应符合GB/T5226.1的规定，动力电导线和保护连接电路之间应经受至少2s的耐压试验。

5.9.2外壳防护等级应符合GB/T4208—2017中IP54的规定。

5.9.3对操作及相关人员可能触及的外露旋转、传动部件，应设有安全防护装置。

5.9.4对可能造成人身伤害但因功能需要而又不能防护的危险运转件，应在其附近设置永久性安全警示标志。

6试验方法

6.1外观

在光线充足的自然光下，以目测检验。

6.2尺寸偏差

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用通用量具进行测量。6.3装配质量

手触结合目测。

6.4噪声

按GB/T25371的规定进行。

6.5运行稳定性

每天连续作业2000片，连续观察3d。

6.6碎片率

连续作业10000片，统计异常碎片数。按式（1）计算破片率。

P=×100%·····································································(1)

式中：

P——破片率；

W——异常碎片数。

6.7设备产能

连续作业1h，统计作业片数。

6.8可靠性

进行现场可靠性验证试验。按GB/T5080.7