《自动匀胶机》（征求意见稿）.pdf

T/ACCEMXXXX—XXXX

自动匀胶机

1范围

本文件规定了的结构与参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、使用说明书、包

装、运输和贮存。

本文件适用于的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T4208—2017外壳防护等级（IP代码）

GB/T4879防锈包装

GB/T5080.7—1986设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验方

案

GB/T5226.1机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件

GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T9969工业产品使用说明书总则

GB/T13306标牌

GB/T25371铸造机械噪声声压级测量方法

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4结构与参数

4.1结构

4.1.1产品结构图如图一所示。

1

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图1产品结构图

4.1.2产品由以下部位构成：

a)机架；

b)晶圆取/收位；

c)机械手式搬运机构；

d)晶圆定中机构；

e)不锈钢匀胶腔；

f)热板；

g)排风系统；

h)电控单元

i)胶路系统及气路系统等。

4.2参数

产品参数如表1所示。

表1参数

项目指标

主轴转速0～5000rpm

转速精度±2RPM

热板单元室温～200℃±1℃

正常运行（每月）＞95%

压力≥-70KPa

真空流量≥30L/min

接口φ10快速接头

压力≥0.6Mpa

压缩空气流量≥40L/min

管径φ10快速接头

排风量≥2000L/min

排风口

接口外径φ100mm

排放方式