真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度-编制说明.pdf

《真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度》

编制说明

（征求意见稿）

一、工作简况

1任务来源制定

本项目是根据国标委国家标准制修订计划（国标委发[2023]58号文），计划编T-604，项目

名称《真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度》进行制定。主要起草单位为兰州空间

技术物理研究所，计划应完成时间为2025年。

2主要工作过程

起草（草案、论证）阶段：2023年12月5日，兰州空间技术物理研究所收到计划批复文件。作为标准

制定的组织单位及主要起草单位，为了高质量、按时完成本次国家标准的编制起草工作，组织成立《真空技

术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度》起草工作组，确定草案的工作方案，负责草案的编

写和进度控制。该项目等同转化ISO19685《VacuumtechnologyVacuumgaugesSpecifications,calibration

andmeasurementuncertaintiesforPiranigauges》，工作组广泛调研了皮拉尼真空计的相关标准及文献，并对业

内的皮拉尼计产品做了调研、分析，确定了本标准的主框架、完成了标准草案初稿。随后，工作组组织了标

准审查会对标准草案和编制说明进行了详细的审查，对必须注意的事项作了深入讨论与研究，提出了修改意

见，对草案初稿作了进一步的补充完善，形成标准征求意见稿，于2024年2月6日报至秘书处。

征求意见阶段：经标委会秘书处审核，于2024年3月1日由工作组牵头负责通过网站宣传、杂志登载、

微信公众号登载等方式公开征求意见。

3主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等

二、标准编制原则和主要内容

1.标准编制原则

本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，以及标准的目

标性、统一性、协调性、适用性、一致性和规范性原则来进行本标准的制定工作，且与技术创新、试验验证、

产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

本标准起草过程中，主要参照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》和GB/T1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规

则》的要求进行编写。在标准转化过程中，综合考虑生产企业的能力和用户的利益，寻求最大的经济、社会

效益，充分体现了标准在技术上的先进性和技术上的合理性。

2.标准主要内容

1

本标准是等同采用ISO19685《VacuumtechnologyVacuumgaugesSpecifications,calibrationand

measurementuncertaintiesforPiranigauges》

本文件给出了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定

度。本文件适用于工作压力范围为0.01Pa~150kPa的皮拉尼真空计。另外，本文件描述了皮拉尼真空计响

应时间和迟滞的表征方法。

当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对GB/T34873《真空计与标准真空计直

接比较校准》和GBT34876-2017/ISO27893：2011《真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不

确定度评定》的补充。

3、解决的主要问题

本标准的制定，填补了国内皮拉尼真空计标准的空白。规范了皮拉尼真空计的性能参数，描述了皮拉尼

真空计原理，规定了校准程序和要求，描述了迟滞、响应时间、不确定度等参数的测量方法，有效避免测量

范围、不确定度限值、分辨率、传感器材料、烘烤温度等参数对皮拉尼真空计精确测量和校准产生较大影响，

可确保产品的安全性、可靠性和稳定应用性。本标准的发布实施，有利于生产厂家按照标准化程序，生产、

使用、检测、校准皮拉尼真空计；用户能够比较不同制造商的设备并正确使用皮拉尼真空计；同时也为计量

机构的校准及使用单位的实际使用提供技术支撑，对规范市场、指导生产、提高产品的技术性能，提高皮拉

尼真空计的全生命周期内的可靠性，实现皮拉尼真空计量值的准