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目录
1.课程设计目的与任务…………2
2.设计的内容……………………2
3.设计的要求与数据……………2
4.NPN管图形结构的选择………3
5.确定纵向结构参数……………3
(1)各区掺杂浓度及集电极外延材料电阻率的选取……3
(2)各区少子迁移率、扩散长度的计算…………………4
(3)集电区厚度Wc的选择…………………6
(4)基区宽度的选取………7
(5)发射极和集电极结深的选取…………8
6.横向尺寸的选择………………8
(1)单元发射极宽度、长度和个数的选取………………8
(2)发射区和基区面积的选取……………9
7.参数验证……………………10
8.工艺版图……………………11
9晶体管课设心得体会………12
1
NPN双极型晶体管的设计
1、课程设计目的与任务
《电子器件课程设计》是继《微电子器件基础》、《微电子工艺》和《半导
体物理》理论课之后开出的有关微电子器件和工艺知识的综合应用的课程,使我
们系统的掌握半导体器件,集成电路,半导体材料及工艺的有关知识的必不可少
的重要环节。
目的是使我们在熟悉晶体管基本理论和制造工艺的基础上,掌握晶体管的设
计方法。要求我们根据(1)分析设计指标,确定主要参数;(2)选择合适工艺,
确定工艺水平;(3)根据参数要求和工艺水平计算管芯纵、横向结构参数;(4)
主要参数验算或器件、工艺模拟;(5)画出器件版图等设计过程的训练,为从
事微电子器件设计、集成电路设计打下必要的基础。
2、设计的内容
设计一个均匀掺杂的pnp型双极晶体管,使T300K时,h/I500/2mA,
FEC
BV30V.晶体管工作于小注入条件下,最大集电极电流为I100mA,集电极耗
CBOC
散功率Pc300mW。特征频率f300MHz。设计时应尽量减小基区宽度调制效应的
T
影响。
3、设计的要求与数据
(1)了解晶体管设计的一般步骤和设计原则。
(2)根据设计指标设计材料参数,包括发射区、基区和集电区掺杂浓度N,N,
EB
和N,根据各区的掺杂浓度确定少子的扩散系数,迁移率,扩散长度和寿命
C
等。
(3)根据主要参数的设计指标确定器件的纵向结构参数,包括集电区厚度W,
c
基本宽度W,发射区宽度W和扩散结深X,发射结结深X等。
bejcje
(4)根据设计指标确定器件的图形结构,设计器件的图形尺寸,绘制出基区、
发射区的光刻版图。
在设计过程中,应该着力解决以下两对矛盾:一是高频率和大功率的矛盾,
二是设计指标与加工难度的矛盾。
对于前者,在晶体管处于大注入工作状态时,会产生集电极电流集边效应、
2
基区电导调制效应和基区宽变效应等,以上效应会对基区渡越时间τB进而对特
征
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