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耐磨球阀在多晶硅行业中的应用
耐磨球阀在多晶硅行业中的应用
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整理ppt
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27-Jun-01,Slide2
1多晶硅工艺流程简介
多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料
不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质
量指标、用途、产品检测方法、过程平安等方面也存在差异，各有技术特点和技术
秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改进西门子法、硅烷
法和流化床法。改进西门子法〔图1〕是目前主流的生产方法。
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27-Jun-01,Slide3
。
。
〔3〕第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，
〔〕第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，
3
需要分解:
过滤硅粉，冷凝SiHCl3,
SiCl4
，而气态Н2,
需要分解过滤硅粉，冷凝，而气态
:
SiHCl3,
SiCl4
Н2,
HCl返回到反响器中或排放到大气中。然后分解冷凝物
HCl返回到反响器中或排放到大气中。然后分解冷凝物
SiHCl3,
SiCl4
，净化三氯氢硅〔多级精馏〕。
SiHCl3,
SiCl4
，净化三氯氢硅〔多级精馏〕。
〔4〕净化后的三氯氢硅采用高温复原工艺，以高纯的
〔〕净化后的三氯氢硅采用高温复原工艺，以高纯的
4
SiHCl3在H2气氛中复原沉积而生成多晶硅。
其化学反
在气氛中复原沉积而生成多晶硅。其化学反
SiHCl3H2
SiHCl3
+
H2
→Si+HCl。
。
SiHCl3
+
H2
→Si+HCl
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27-Jun-01,Slide4
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硅业耐磨阀主要生产厂家
3
硅业耐磨阀主要生产厂家
1〕EVERLASTING〔圆盘阀〕
2〕MESTO〔球阀〕
3〕VTI〔球阀〕
4〕Copeland〔球阀〕
5〕UNIVALS〔球阀〕
6〕国产阀〔圆盘阀〕
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27-Jun-01,Slide
4
耐磨球阀应用的工况
•煤化工
气化炉锁渣、煤粉、水煤浆等
•炼油
催化剂，石油焦等
•石化
聚合物浆料
•有机硅多晶硅
硅粉等
•天
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