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管式PECVD生产操作规程;1安全警告;;氨气AmmoniaNH3;3安全与标识;;3开机;;3.2开启计算机----开电源后自动开启，输入密码。;3.4检验冷却水;3.4检验气源;3.5开启真空泵;在CESAR界面，
manal/T-paddle/All/setpoint=450;4选择工艺单、生产;5关机;5.1工艺运营结束后降温;5.2关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫;5.3关真空泵;5.4退出控制程序，关主电源;5.5关上压缩空气、氮气、冷却水;PECVD生产操作规程
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