有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共9页，可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
去除磷硅玻璃
编辑课件1
什么是磷硅玻璃？
v在扩散过程中发生如下反响：
vPOCl3分解产生的P2O5淀积在硅片外表，P2O5与
Si反响生成SiO2和磷原子：
v这样就在硅片外表形成一层含有磷元素的SiO2，称
之为磷硅玻璃。
编辑课件2
磷硅玻璃的去除
v氢氟酸是无色透明的液体，具有较弱的酸性、
易挥发性和很强的腐蚀性。但氢氟酸具有一
个很重要的特性是它能够溶解二氧化硅，因
此不能装在玻璃瓶中。
v在半导体生产清洗和腐蚀工艺中，主要就利
用氢氟酸的这一特性来去除硅片外表的二氧
化硅层。
编辑课件3
v氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化
硅作用生成易挥发的四氟化硅气体。
v假设氢氟酸过量，反响生成的四氟化硅会进一步与
氢氟酸反响生成可溶性的络和物六氟硅酸。
v总反响式为：
编辑课件4
去除磷硅玻璃工艺
清
投
洗
装开片甩
液
片机清干
配
洗
制
编辑课件5
清洗液配制
v将各槽中破损硅片等杂质去除，用去离子水
将各槽壁冲洗干净。
v1号槽中注入一半深度的去离子水，参加氢氟
酸，再注入去离子水至溢流口下边缘。
v向后面的槽中注满去离子水。
编辑课件6
装片
v经等离子刻蚀过的硅片，检验合格后插入承
片盒。
v注意，经过磷扩散处理的外表，刻蚀之后硅
片在插入承片盒时也严格规定了放置方向。
每盒25片，扣好压条，投入清洗设备。
编辑课件7
本卷须知
v在配制氢氟酸溶液时，要穿好防护服，戴好
防护手套和防毒面具。
v不得用手直接接触硅片和承载盒。
v当硅片在1号槽氢氟酸溶液中时，不得翻开设
备照明，防止硅片被染色。
v硅片在两个槽中的停留时间不得超过设定时
间，防止硅片被氧化。
编辑课件8
检验标准
v当硅片从1号槽氢氟酸中提起时，观察其外
是否脱水，如果脱水，那么说明磷硅玻璃已
去除干净；如果外表还沾有水珠，那么说明
磷硅玻璃未被去除干净。
v甩干后，抽取两片硅片，在灯光下目测：外
表枯燥，无水迹及其它污点。
编辑课件9
文档评论（0）