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半导体器件测试探针台操作步骤（SOP）
半导体器件测试探针台主要涉及两大部分：探针台（LakeshoreCRX6.5K包括探针及显微显示部件、真空
系统、制冷系统、循环冷切水系统及温度控制仪），半导体参数分析仪（Keithley4200）。
一．常温常压测试：
1．打开腔体盖子，放置样品。若为负压（真空状态），则打开氮气阀门（如图红色框）通入一定量氮气，解
1
除真空再打开腔体盖子。放置样品时，请用镊子轻拿轻放，注意
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