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2023年分步重复光刻机项目可行性建设方案.docx

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    分步重复光刻机项目可行性建设方案

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    分步重复光刻机项目可行性建设方案

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    TOC\h\z25758概论 3

    5237一、分步重复光刻机项目概论 3

    2365(一)、项目申报单位概况 3

    20009(二)、项目概况 4

    17671二、社会影响分析 7

    16700(一)、社会影响效果分析 7

    21794(二)、社会适应性分析 10

    16143(三)、社会风险及对策分析 11

    4831三、项目监理与质量保证 14

    7003(一)、监理体系构建 14

    3089(二)、质量保证体系实施 15

    6562(三)、监理

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