20200616第二轮线上技术交流讲座（TEM第二讲）.pdfVIP

透射电子显微学系列讲座

主讲人：张斌

2020年06月16日

在线交流

分析测试中心公众号

总纲

第一讲透射电镜及中心电镜运行简介

第二讲透射电镜样品要求及制样介绍

第三讲透射电镜功能介绍与基本原理

第四讲数据分析及基本软件使用

第五讲现场(在线)演示

第二讲透射电镜样品要求及制样介绍

透射电镜样品要求

常规粉末样品的制备方法简介

超薄切片制样方法简介

块体样品制备方法简介

Q1:制样的重要性？

样品制备的重要性

2kVAr0.1kVAr

Lecture：TEMSamplespreparation_D.Laub_2014

Q2:透射电镜对样品的基

本要求？

TEM样品要求

1.小：直径~3mm

TEM样品要求

2.薄：

典型厚度

50nm

视测试要求及样品情况。

TEM样品要求

TEM样品要求

切

片

前

10nm

切

片

后

10nm

TEM样品要求

样品太厚造成能谱数据采集失真

TEM样品要求

粉末样品，应避免颗粒太大！

TEM样品要求

3.“避免磁性”

极靴的构造

磁透镜实际透镜

透射电镜是通过磁场进行电子束的聚焦，因此磁性样品

会对电镜本身造成很大的风险与损伤。

磁性磁性样品扰乱电子光路系统，影响成像。

材料若吸附于极靴上将造成设备永久损害。

问题磁性样品需经过特殊处理或使用洛伦兹电镜。

TEM样品要求

4.无挥发性、样品“干净”

样品“脏”影响观察并污染电镜

挥发性样品及样品太脏会污染电镜，影响其他样品的观测。

TEM样品要求

1.样品尺寸合适（直径不超过，3mm）

2.样品足够薄，电子束可顺利穿过

3.样品无磁性、无挥发性、无毒等，以免危害设备及操作人员健康。

4.样品稳定，电子束辐照不分解、“干净”，以免积碳。

5.其他

第二讲透射电镜样品要求及制样介绍

透射电镜样品要求

常规粉末样品的制备方法简介

超薄切片制样方法简介

块体样品制备方法简介

Q3:透射电镜制样方法与

选择？

制样方法

TEM的制样方法？