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基于系统级模型的高速精密运动控制算法设计和仿真.docx

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    基于系统级模型的高速精密运动控制算法设计和仿真

    （DesignandSimulationofhighspeedprecisionmotioncontrolalgorithmbasedon

    摘要

    高速精密运动控制是集成电路生产设备的核心技术之一。基于模型的方法是运动控制算法的一个重要发展方向和趋势。采用基于系统级模型，实现了IC封装设备引线键合机运动控制算法的设计、为后续控制算法代码的生成和运行奠定了必要的基础，仿真和优化，利用simulink进行仿真运行，并将系统级模型与传统常规直接代码编写方式和仿真进行比较。在运

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