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真空电子器件的表面处理技术考核试卷

考生姓名：________________答题日期：____年__月__日得分：_____________判卷人：________________

一、单项选择题（本题共20小题，每小题1分，共20分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.真空电子器件表面处理技术的首要目的是（）

A.提高器件的导电性

B.增强器件的耐腐蚀性

C.提高器件的耐磨性

D.降低器件的制造成本

2.以下哪种方法不属于真空电子器件的表面处理技术？（）

A.化学镀

B.物理镀

C.电镀

D.激光切割

3.在真空电子器件表面处理中，化学镀的主要作用是（）

A.提高器件的导电性

B.改善器件的表面光滑度

C.增强器件的抗氧化性

D.降低器件的热导率

4.以下哪种材料不适合作为真空电子器件的表面处理材料？（）

A.铜

B.铝

C.钛

D.玻璃

5.在真空电子器件表面处理过程中，以下哪个步骤是错误的？（）

A.表面清洁

B.表面活化

C.表面镀膜

D.高温烘烤

6.以下哪种方法通常用于真空电子器件的表面清洗？（）

A.超声波清洗

B.机械研磨

C.化学腐蚀

D.高温熔炼

7.在真空电子器件表面处理中，以下哪种镀膜方式具有较高的结合力？（）

A.磁控溅射

B.真空蒸发

C.化学气相沉积

D.电泳沉积

8.以下哪种因素会影响真空电子器件表面处理的质量？（）

A.镀膜厚度

B.镀膜材料

C.镀膜工艺

D.所有上述因素

9.在真空电子器件表面处理中，以下哪种方法可以改善器件的抗氧化性？（）

A.磁控溅射

B.电镀

C.真空蒸发

D.化学镀

10.以下哪种材料在真空电子器件表面处理中具有较好的耐腐蚀性？（）

A.铜

B.铝

C.铬

D.铁

11.在真空电子器件表面处理过程中，以下哪种现象会导致器件性能下降？（）

A.表面污染

B.镀膜厚度不足

C.镀膜材料选择不当

D.所有上述现象

12.以下哪种方法可以用于检测真空电子器件表面处理的质量？（）

A.扫描电子显微镜

B.能量色散X射线光谱仪

C.接触角测量仪

D.所有上述方法

13.在真空电子器件表面处理中，以下哪种工艺参数对镀膜质量影响较大？（）

A.镀膜速率

B.镀膜温度

C.真空度

D.所有上述工艺参数

14.以下哪种方法不适合用于真空电子器件的表面修饰？（）

A.光刻

B.刻蚀

C.化学镀

D.磁控溅射

15.在真空电子器件表面处理中，以下哪种现象会导致器件失效？（)

A.表面裂纹

B.镀膜脱落

C.表面污染

D.所有上述现象

16.以下哪种材料在真空电子器件表面处理中具有较高的热稳定性？（）

A.铝

B.铜

C.钨

D.铁）

17.在真空电子器件表面处理过程中，以下哪种方法可以减少表面污染？（）

A.提高真空度

B.优化镀膜工艺

C.使用抗污染材料

D.所有上述方法

18.以下哪种因素会影响真空电子器件表面处理后的耐磨性？（）

A.镀膜材料

B.镀膜厚度

C.镀膜工艺

D.所有上述因素

19.以下哪种方法通常用于真空电子器件表面处理后的后处理？（）

A.热处理

B.化学腐蚀

C.机械抛光

D.所有上述方法

20.在真空电子器件表面处理中，以下哪种技术可以提高器件的导电性？（）

A.磁控溅射

B.化学镀

C.电镀

D.所有上述技术

二、多选题（本题共20小题，每小题1.5分，共30分，在每小题给出的四个选项中，至少有一项是符合题目要求的）

1.真空电子器件表面处理技术可以提高以下哪些性能？（）

A.导电性

B.耐腐蚀性

C.耐磨性

D.透光率

2.以下哪些方法属于物理镀膜技术？（）

A.磁控溅射

B.真空蒸发

C.化学气相沉积

D.电泳沉积

3.真空电子器件表面处理过程中的表面清洁步骤包括以下哪些内容？（）

A.超声波清洗

B.化学腐蚀

C.机械研磨

D.热脱附

4.以下哪些因素会影响真空电子器件表面处理的结合力？（）

A.镀膜材料

B.镀膜工艺

C.基体材料

D.环境温度

5.以下哪些方法可以用于真空电子器件表面处理中的镀膜检测？（）

A.扫描电子显微镜

B.透射电子显微镜

C.X射线光电子能谱仪

D.紫外-可见分光光度计

6.以下哪些情况下需要进行真空电子器件的表面处理？（）

A.提高器件可靠性

B.改善器件电学性能

C.增强器件机械性能

D.降低器件生产成本

7.以下哪些材料常用于真空电子器件的表面镀膜？（）

A.金

B.铬

C.